公开(公告)号：CN108531914A

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201810683149.2

申请日：2018-06-15

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 李朝林 ,  罗海健 ,  周明明

IPC: C23F1/46 ,  C25C1/12 ,  C25C7/00 ,  C23F1/18

Abstract: 本发明公开了一种H2SO4/S2O82-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统及方法，解决了常见微蚀刻废液回收金属铜后依然有硫酸盐废液排出的问题，包括：S1、将微蚀刻废液导入第一电解槽的阴极室内，将阳极液导入第一电解槽的阳极室内；S2、通入直流电进行电解，持续电解数小时后停止通电，回收阴极件表面的金属铜；S3、将阴极室内电解回收金属铜后的微蚀刻废液导入阳极液储槽内储存并作为下次电解过程中的阳极液，将阳极室内再生的微蚀刻废液导入蚀刻机微蚀刻液储槽循环利用；S4、批序式重复上述S2、S3步骤，达到实现金属铜回收及微蚀刻液同步再生的目的。

公开(公告)号：CN208594334U

公开(公告)日：2019-03-12

申请号：CN201821017010.6

申请日：2018-06-15

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 李朝林 ,  罗海健 ,  周明明

IPC: C23F1/46 ,  C25C1/12 ,  C25C7/00 ,  C23F1/18

Abstract: 本实用新型公开了一种H2SO4/S2O82-微蚀刻废液的铜回收及同步再生微蚀刻液系统，解决了常见微蚀刻废液回收金属铜后依然有硫酸盐废液排出的问题，包括第一电解槽、蚀刻机微蚀刻液储槽、调节装置和冷却装置，所述第一电解槽内设有将第一电解槽分隔为阳极室和阴极室的离子交换膜，所述阳极室内设有供微蚀刻废液中的硫酸根离子发生电化学氧化反应的阳极件，所述阴极室设有供微蚀刻废液中的铜离子发生电化学还原反应的阴极件，所述阳极件和阴极件之间连接有第一电源，所述阳极室还连通有储存有阳极液的阳极液储槽，所述阴极室内经过电化学除铜后的微蚀刻废液导入所述阳极液储槽内，达到实现金属铜回收及微蚀刻液同步再生的目的。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利