公开(公告)号：CN101251599B

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN200710125579.4

申请日：2007-12-28

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 胡泓 ,  李天利 ,  郑亮

IPC: G01S13/74

Abstract: 本发明公开一种具有结构简单并且能够同时进行两种物理量(如温度、压力和应变等)检测的声表面波传感器，和对传感器检测到的物理量反馈信号如何应用声表面波延迟线理论进行参数分析的方法。与现有相同原理的传感器相比，本发明克服了以往声表面波传感器只能检测单个物理量或者即使能够测量2个物理量但结构相对复杂的缺陷。充分利用叉指换能器所产生的声表面波能量信号向两个方向同时传递的特点，使得本发明能够同时检测两个物理量。本发明所设计传感器的结构简单，具有易于批量生产加工、体积小、重量轻、零老化率等显著特点，理论分析验证可通过一定方法使得被测量的两个物理量的反馈信号经数据处理产生相互独立检测信号。

公开(公告)号：CN101251599A

公开(公告)日：2008-08-27

申请号：CN200710125579.4

申请日：2007-12-28

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 胡泓 ,  李天利 ,  郑亮

IPC: G01S13/74

Abstract: 本发明公开一种具有结构简单并且能够同时进行两种物理量(如温度、压力和应变等)检测的声表面波传感器，和对传感器检测到的物理量反馈信号如何应用声表面波延迟线理论进行参数分析的方法。与现有相同原理的传感器相比，本发明克服了以往声表面波传感器只能检测单个物理量或者即使能够测量2个物理量但结构相对复杂的缺陷。充分利用叉指换能器所产生的声表面波能量信号向两个方向同时传递的特点，使得本发明能够同时检测两个物理量。本发明所设计传感器的结构简单，具有易于批量生产加工、体积小、重量轻、零老化率等显著特点，理论分析验证可通过一定方法使得被测量的两个物理量的反馈信号经数据处理产生相互独立检测信号。