公开(公告)号：CN101666630B

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200910309186.8

申请日：2009-10-30

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 姚勇 ,  宋菲 ,  孙云旭 ,  安宏宇

IPC: G01B11/24 ,  G01N13/00

Abstract: 本发明涉及一种基于平行平晶分偏振光束及相移干涉术的精密晶圆检测装置，包括光源、空间滤波器、扩束器、起偏器、消偏振分光棱镜、平行平晶、1/4波片和检偏器，所述的光源、空间滤波器、扩束器、起偏器依次顺序设置在第一光轴，所述的检偏器、1/4波片、消偏振分光棱镜、平行平晶和外部的待测物表面依次顺序设置在第二光轴，所述的第一光轴和第二光轴垂直。

公开(公告)号：CN101666630A

公开(公告)日：2010-03-10

申请号：CN200910309186.8

申请日：2009-10-30

Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院

Inventor： 姚勇 ,  宋菲 ,  孙云旭 ,  安宏宇

IPC: G01B11/24 ,  G01N13/00

Abstract: 本发明涉及一种基于平行平晶分偏振光束及相移干涉术的精密晶圆检测装置，包括光源、空间滤波器、扩束器、起偏器、消偏振分光棱镜、平行平晶、1／4波片和检偏器，所述的光源、空间滤波器、扩束器、起偏器依次顺序设置在第一光轴，所述的检偏器、1／4波片、消偏振分光棱镜、平行平晶和外部的待测物表面依次顺序设置在第二光轴，所述的第一光轴和第二光轴垂直。