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公开(公告)号：CN107389611A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710486756.5
申请日：2017-06-23
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: G01N21/41
CPC classification number: G01N21/41 , G01N2021/4166
Abstract: 本发明提出了一种基于窄线宽微腔和宽频光源的低成本生化传感器，包括宽带光源、双直波导耦合的微环腔，其中，所述双直波导耦合的微环腔包括第一直波导、第二直波导、微环谐振腔，在 SOI上依次通过曝光和刻蚀制备出所述微环谐振腔及波导；所述微环谐振腔分别与第一直波导和第二直波导耦合连接；所述宽带光源输入所述双直波导耦合的微环腔，通过对所述双直波导耦合的微环腔的输出信号强度变化的监测即可实现传感。本发明可以有效地提高测量的通量，大大降低了造价，满足了便携式的要求；本发明利用宽带光源对输出光功率进行直接检测，有效提高了传感器的灵敏度。
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