一种宽频吸波器的结构与制备方法

    公开(公告)号:CN104779447A

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201510163603.8

    申请日:2015-04-08

    Abstract: 本发明提供了一种宽频吸波器的结构与制备方法,该结构包括基底层,设置在基底层上的半金字塔结构,所述半金字塔为多层金属-介质层交替叠加组合而成,且结构的尺寸在Z方向上由下往上呈梯度递减,该结构为对称结构,对称轴为金属-介质层的中心的连线。采用镀膜的方式在基底上依次镀金属-介质层,然后刻蚀出金字塔结构。结构简单:该吸波器的结构单一,便于制备。光谱容易测量:在测量阶段,8-14μm为中红外波段,根据现有设备,很容易得到该结构的透射和反射光谱,从而得到吸收谱。

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