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公开(公告)号:CN2726829Y
公开(公告)日:2005-09-21
申请号:CN200420063398.5
申请日:2004-09-10
Applicant: 哈尔滨工业大学博实精密测控有限责任公司
IPC: B25H1/00
Abstract: 二维模块式椭圆放大机构大位移微动工作台,它涉及一种二维椭圆放大机构微动工作台的改进。本实用新型从下往上依次由Y向工作台(3)、连接板(1)和X向工作台(2)连固而成,X向工作台(2)的中部与连接板(1)固定连接,Y向工作台(3)的四边与连接板(1)固定连接。本实用新型具有位移量大、位移放大倍数大、结构紧凑、便于安装和调试、频响高、位移方向刚度大、承载能力高的优点,不仅消除了两个方向位移时的相互干扰和工作台偏转,完全实现了工作台平动,而且在闭环控制时,消除了传感器和其固定机构对工作台位移产生的阻力,便于传感器本身的安装和调试。