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发明公开
基于磁悬浮支撑的静电驱动微进给执行器及电解加工装置审中-实审

公开(公告)号：CN117733257A

公开(公告)日：2024-03-22

申请号：CN202311780229.7

申请日：2023-12-21

Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)

Inventor： 黄瑞宁 , 郭雨生

IPC: B23H3/00 , B23H11/00

Abstract: 本发明提供了一种基于磁悬浮支撑的静电驱动微进给执行器及电解加工装置，静电驱动微进给执行器包括：外壳、静电驱动定子电极板、静电驱动动子、定子线圈、内轴和工具电极；静电驱动定子电极板、静电驱动动子、定子线圈和内轴同轴设置于外壳内；静电驱动定子电极板固定设置于外壳的顶部，定子线圈固定设置于外壳内，静电驱动动子悬浮设置于静电驱动定子电极板与定子线圈之间，内轴的顶部穿过定子线圈后与静电驱动动子固定连接，内轴的底部穿出外壳后与工具电极连接。本发明提高了电解加工速度及稳定性，降低了杂散效应，提升了电解加工精度。

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