-
公开(公告)号:CN102340095B
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN201110306088.6
申请日:2011-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学(威海)
Abstract: 本发明涉及一种双层密封射频激励“Z”折叠波导CO2激光器,壳体是长方箱体,其与上部壳盖构成内真空室,折叠波导放电系统置于壳体内,所述壳体外壁外侧分别相应设有凹槽,壳体外侧的各个相邻凹槽之间的槽壁上设有互相连通的串气孔,各凹槽外部密封安装有相应的前端板、后端板、左侧板、右侧板,壳体分别与前端板、后端板、左侧板、右侧板之间形成封闭环形夹层空间,构成外真空室。内外真空室充以相同气压的相同激光工作气体,两者气压差近似为零,因而延缓漏气。本发明即延长了激光器寿命,又可以方便的局部拆卸调整电路和激光谐振腔,而且还具有激光器结构紧凑、体积小的优点。
-
公开(公告)号:CN102340095A
公开(公告)日:2012-02-01
申请号:CN201110306088.6
申请日:2011-10-11
Applicant: 哈尔滨工业大学(威海)
Abstract: 本发明涉及一种双层密封射频激励“Z”折叠波导CO2激光器,壳体是长方箱体,其与上部壳盖构成内真空室,折叠波导放电系统置于壳体内,所述壳体外壁外侧分别相应设有凹槽,壳体外侧的各个相邻凹槽之间的槽壁上设有互相连通的串气孔,各凹槽外部密封安装有相应的前端板、后端板、左侧板、右侧板,壳体分别与前端板、后端板、左侧板、右侧板之间形成封闭环形夹层空间,构成外真空室。内外真空室充以相同气压的相同激光工作气体,两者气压差近似为零,因而延缓漏气。本发明即延长了激光器寿命,又可以方便的局部拆卸调整电路和激光谐振腔,而且还具有激光器结构紧凑、体积小的优点。
-