矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器

    公开(公告)号:CN101276950A

    公开(公告)日:2008-10-01

    申请号:CN200810064370.6

    申请日:2008-04-23

    Abstract: 矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器,它涉及微机电系统移相器。它解决了现有MEMS移相器存在单桥相移量小、相位精度低的问题。本发明的金属槽形矩形桥(8)覆盖在n个金属桥(5)的上方,金属槽形矩形桥(8)的桥壁下端固定在共面波导(1)上的两根地线(4)上,金属槽形矩形桥(8)顶部的桥梁与共面波导(1)平行。本发明的金属槽形矩形桥覆盖了MEMS金属桥及跨接了两侧的地线,使得电磁波的传输被限制在矩形桥以内,因而降低移相器的辐射损耗,由于信号线和地线之间的耦合度增大,表面电流得到分散,进而降低了传导损耗,减少了相邻器件间的电磁干扰,有效地减小了附加的波导桥尺寸。

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