公开(公告)号：CN103219989A

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201310133197.1

申请日：2013-04-17

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘晓为 ,  徐宏林 ,  周佳骏 ,  杨健 ,  刘亮 ,  陈松 ,  尹亮 ,  付强

IPC: H03K19/0175 ,  G01P15/00

Abstract: 高线性Σ-Δ闭环加速度计接口电路，属于MEMS惯性器件领域，本发明为解决目前的Σ-Δ闭环加速度计接口电路环路增益低，敏感结构质量块位移大，导致电荷电压转换非线性增加，输出信号谐波成分增强的问题。微机械加速度计敏感结构通过本发明的电荷检测\相关双采样保持电路、相位补偿电路、第一级积分器电路、第二级积分器电路、求和电路、比较器相连接；比较器的输出端与微机械加速度计敏感结构的质量块反馈端相连；比较器的输出端输出系统位流信号。本发明相对于传统的反馈结构大大提高了系统环路的增益，增大了静电反馈力，减小了质量块位移，降低了信号检测和处理电路的非线性，提高了Σ-Δ闭环加速度计接口电路的性能。