一种利用高功率脉冲磁控溅射DLC膜层提高60NiTi合金耐磨性的方法

    公开(公告)号:CN118326351A

    公开(公告)日:2024-07-12

    申请号:CN202410480928.8

    申请日:2024-04-22

    Abstract: 本发明提供了一种利用高功率脉冲磁控溅射DLC膜层提高60NiTi合金耐磨性的方法,属于合金表面处理技术领域。本发明以Ti为靶材,通过第一高功率脉冲磁控溅射,获得Ti过渡层。本发明采用乙烯、高纯氩气的混合气体作为第二高功率脉冲磁控溅射的气体,其中氩气负责提供高能离子产生等离子体,乙烯作为DLC膜层的碳源并且提供氢元素,在高功率脉冲磁控溅射的作用下,沉积出光滑致密的DLC薄膜,能够有效降低60NiTi合金的摩擦系数,提高60NiTi合金的硬度,能够作为低摩擦系数、高硬度的新型轴承材料。

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