公开(公告)号：CN115084315A

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN202210671485.1

申请日：2022-06-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王琮 ,  张明新 ,  李喆一 ,  魏杰 ,  蔡大雨 ,  易洋 ,  王金雨

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0296 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/103

Abstract: 基于氧化锌量子点的同质结紫外光电探测器的制备方法，它为了解决现有氧化锌异质结光电探测器由于ZnO和其他物质之间晶格失配，导致阻碍光电探测器的载流子传输的问题。制备方法：一、将氢氧化钾溶液加入到醋酸锌溶液中，搅拌反应，得到的ZnO量子点分散到氯仿和甲醇的混合溶液中，得到ZnO量子点分散液；二、在衬底上沉积ZnO薄膜；三、在带有ZnO薄膜的衬底上涂覆ZnO量子点分散液，量子点层和沉积层形成同质结，最后退火处理。本发明基于ZnO量子点/磁控溅射ZnO同质结，其具有过量氧吸附‑解吸位点的ZnO量子点层保证高产量的光诱导载流子，而具有优先取向结晶度的磁控溅射ZnO层适合加速载流子传输。