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公开(公告)号:CN115084315A
公开(公告)日:2022-09-20
申请号:CN202210671485.1
申请日:2022-06-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0296 , H01L31/0352 , H01L31/103
Abstract: 基于氧化锌量子点的同质结紫外光电探测器的制备方法,它为了解决现有氧化锌异质结光电探测器由于ZnO和其他物质之间晶格失配,导致阻碍光电探测器的载流子传输的问题。制备方法:一、将氢氧化钾溶液加入到醋酸锌溶液中,搅拌反应,得到的ZnO量子点分散到氯仿和甲醇的混合溶液中,得到ZnO量子点分散液;二、在衬底上沉积ZnO薄膜;三、在带有ZnO薄膜的衬底上涂覆ZnO量子点分散液,量子点层和沉积层形成同质结,最后退火处理。本发明基于ZnO量子点/磁控溅射ZnO同质结,其具有过量氧吸附‑解吸位点的ZnO量子点层保证高产量的光诱导载流子,而具有优先取向结晶度的磁控溅射ZnO层适合加速载流子传输。