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公开(公告)号:CN118032658A
公开(公告)日:2024-05-14
申请号:CN202410208944.1
申请日:2024-02-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于局域表面等离激元共振的光致热弹光谱痕量气体检测装置及方法,所述装置包括可调谐半导体激光器、光束准直单元、前聚焦透镜、气室、后聚焦透镜、石英音叉、金属微纳阵列、信号解调单元、信号发生器、加法器、激光器控制单元和计算机。本发明通过在石英音叉叉指根部表面增加一层尺寸与激光光斑相当的金属微纳阵列,使石英音叉对1550nm激光的吸收率由5%以下增长到90%以上,吸光度提升约20倍,在不改变激光功率情况下实现信号显著增强,从而提升气体检测系统的灵敏度和信噪比。