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发明公开
基于压电陶瓷音叉的光声光谱痕量气体检测装置及方法审中-实审

公开(公告)号：CN117825291A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202410197638.2

申请日：2024-02-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 马欲飞 , 王元治 , 梁添添 , 乔顺达 , 何应 , 段小明

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明公开了一种基于压电陶瓷音叉的光声光谱痕量气体检测装置及方法，利用压电陶瓷音叉探测气体分子吸收激光后所产生的光声信号，待测气体充满压电陶瓷音叉叉指间隙，经频率调制的激光器发出的激光经准直聚焦后传输至压电陶瓷音叉叉指间隙，聚焦点附近的气体分子吸收光能后跃迁至激发态，其中部分气体分子通过热弛豫过程回到基态，并向外发射声波，声波强度与气体浓度成正比。声波在音叉表面施加压力，进而产生压电效应。音叉两端接至信号解调单元，信号解调单元解调出二次谐波信号，基于此，最终可获得气体浓度与解调出二次谐波信号峰值电压之间的关系曲线，实现气体检测的功能。

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