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公开(公告)号：CN118960620B
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202411284588.8
申请日：2024-09-13
IPC: G01B11/26
Abstract: 一种多自由度测量系统中折叠光路的角度解耦方法，属于多自由度测量技术领域。为解决多自由度测量系统中折叠光路的角度精确解耦，本发明根据多自由度测量系统中各个反射器件的空间位置和角度得到光斑位置传感器的法向量；令入射光绕X轴或Y轴偏转一定角度求得有偏角的入射光与光斑位置传感器的交点坐标；利用变换矩阵将有偏角的入射光与光斑位置传感器的交点坐标变换至XOY平面上，得到变换后的交点坐标；利用一个绕Z轴角度为失配角θzd‑z的旋转矩阵，对变换后的交点坐标进行变换使得再次变换的交点坐标的X分量或Y分量为0；利用角度θzd‑z和旋转矩阵构建角度解耦公式，对折叠光路造成的角度耦合误差进行修正。
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公开(公告)号：CN118999408B
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202411084513.5
申请日：2024-08-08
IPC: G01B11/26 , G01B9/02001 , G01B9/02018
Abstract: 一种基于虹膜光阑的差分波前传感角度测量装置及测量方法，属于精密测量技术领域，意在解决差分波前传感技术的角度测量精度与角度测量线性范围制约的问题，本发明包括双频激光发生模块、参考光准直器、参考光电探测器、参考反射镜、一号、二号、三号非偏振分光棱镜、测量反射镜、一号、二号四象限探测器、虹膜光阑、测量光准直器。本发明利用二号四象限探测器根据差分功率传感原理实时获得各象限光强度数据，计算待测角度粗测值；根据粗测值调节虹膜光阑至对应通光孔径，实现波前差分传感测量线性范围及测量灵敏度动态在线调整；最后根据差分波前传感原理计算待测角度精测值，实现粗精二次测量，在保证角度测量精度的同时提升了角度测量范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118960620A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411284588.8
申请日：2024-09-13
IPC: G01B11/26
Abstract: 一种多自由度测量系统中折叠光路的角度解耦方法，属于多自由度测量技术领域。为解决多自由度测量系统中折叠光路的角度精确解耦，本发明根据多自由度测量系统中各个反射器件的空间位置和角度得到光斑位置传感器的法向量；令入射光绕X轴或Y轴偏转一定角度求得有偏角的入射光与光斑位置传感器的交点坐标；利用变换矩阵将有偏角的入射光与光斑位置传感器的交点坐标变换至XOY平面上，得到变换后的交点坐标；利用一个绕Z轴角度为失配角θzd‑z的旋转矩阵，对变换后的交点坐标进行变换使得再次变换的交点坐标的X分量或Y分量为0；利用角度θzd‑z和旋转矩阵构建角度解耦公式，对折叠光路造成的角度耦合误差进行修正。
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公开(公告)号：CN118999365B
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202411099478.4
申请日：2024-08-12
IPC: G01B11/02 , G01B9/02015
Abstract: 一种完全等光程外差激光干涉仪及其测量方法，属于光学测量技术领域。为克服现有的非共光路外差激光干涉仪均难以满足光程完全平衡的问题,本发明偏振分光棱镜的上侧端面贴附有角锥棱镜、下侧端面贴附有四分之一波片、左侧端面贴附有第一补偿玻璃、第一二分之一波片，偏振分光棱镜的右侧端面并列贴附有第二补偿玻璃、第二二分之一波片；第一补偿玻璃、第一二分之一波片的左侧贴附有第一koester棱镜，第一koester棱镜的出光面贴附有第一偏振片；第二补偿玻璃、第二二分之一波片的右侧贴附有第二koester棱镜，第二koester棱镜的出光面贴附有第二偏振片；四分之一波片的输出光路上设置有第二反射镜、第一反射镜。
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公开(公告)号：CN119714082A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411910197.2
申请日：2024-12-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种激光干涉仪pm级位移分辨力测试装置及其方法，属于光学测量技术领域。解决了激光干涉仪pm级位移分辨力测不了及测不准的问题，本发明包括固定反射镜、光学玻璃板、连接轴、运动发生装置、标准器；固定反射镜用于将测量光路中透射过光学玻璃板的激光进行反射，使反射后的激光原路返回至激光干涉仪中；光学玻璃板安装在运动发生装置的连接轴上，光学玻璃板位于激光干涉仪和固定反射镜之间的测量光路上，光学玻璃板的几何中心位于运动发生装置的连接轴延长线上，且光学玻璃板的一面与连接轴垂直。本发明通过控制光学玻璃板运动实现了等效的激光干涉仪中nm至pm级位移产生的相移，对激光干涉仪pm级位移分辨力测试更充分且提高了测试精度。
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公开(公告)号：CN118999408A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411084513.5
申请日：2024-08-08
IPC: G01B11/26 , G01B9/02001 , G01B9/02018
Abstract: 一种基于虹膜光阑的差分波前传感角度测量装置及测量方法，属于精密测量技术领域，意在解决差分波前传感技术的角度测量精度与角度测量线性范围制约的问题，本发明包括双频激光发生模块、参考光准直器、参考光电探测器、参考反射镜、一号、二号、三号非偏振分光棱镜、测量反射镜、一号、二号四象限探测器、虹膜光阑、测量光准直器。本发明利用二号四象限探测器根据差分功率传感原理实时获得各象限光强度数据，计算待测角度粗测值；根据粗测值调节虹膜光阑至对应通光孔径，实现波前差分传感测量线性范围及测量灵敏度动态在线调整；最后根据差分波前传感原理计算待测角度精测值，实现粗精二次测量，在保证角度测量精度的同时提升了角度测量范围。
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公开(公告)号：CN118999365A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411099478.4
申请日：2024-08-12
IPC: G01B11/02 , G01B9/02015
Abstract: 一种完全等光程外差激光干涉仪及其测量方法，属于光学测量技术领域。为克服现有的非共光路外差激光干涉仪均难以满足光程完全平衡的问题,本发明偏振分光棱镜的上侧端面贴附有角锥棱镜、下侧端面贴附有四分之一波片、左侧端面贴附有第一补偿玻璃、第一二分之一波片，偏振分光棱镜的右侧端面并列贴附有第二补偿玻璃、第二二分之一波片；第一补偿玻璃、第一二分之一波片的左侧贴附有第一koester棱镜，第一koester棱镜的出光面贴附有第一偏振片；第二补偿玻璃、第二二分之一波片的右侧贴附有第二koester棱镜，第二koester棱镜的出光面贴附有第二偏振片；四分之一波片的输出光路上设置有第二反射镜、第一反射镜。
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