公开(公告)号：CN107966415A

公开(公告)日：2018-04-27

申请号：CN201711156383.1

申请日：2017-11-20

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 金华 ,  孟松鹤 ,  李哲文 ,  曾庆轩 ,  易法军

IPC: G01N21/31 ,  G01N21/01

CPC classification number: G01N21/3103 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明涉及一种SiC氧化反应的非接触式在线检测方法，包括以下步骤：通过聚焦光路实时探测离解氧环境中的SiC试样近表面空间区域气体的光谱信号；通过分析所述光谱信号判断所述SiC试样近表面是否存在Si原子，是则确定SiC试样近表面发生主动氧化，否则发生被动氧化。本发明还涉及一种SiC氧化反应的非接触式在线检测装置，可实时在线检测SiC材料的氧化反应状态，相对于传统氧化后材料分析的测试方法，本发明大幅度减少SiC氧化和后期材料分析的实验量，节约了成本。