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公开(公告)号：CN103900470B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410118924.1
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于三光纤共球耦合的微测量力瞄准传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器、扩束准直镜、光纤耦合透镜、导管、显微物镜b、CCD相机b、显微物镜a、CCD相机a、计算机和由入射光纤、耦合器、出射光纤a、出射光纤b组成的探针，耦合器作为探针的触点，光束经入射光纤导入耦合器后分别由出射光纤a和出射光纤b导出，导出光束分别经显微物镜a、显微物镜b进入CCD相机a、CCD相机b，通过图像处理技术即可得到两束出射光束分别在CCD上形成的光斑能量中心位置，由CCD相机上光斑能量中心位置与传感器触测点在空间位置的一一对应关系即可得出传感器在空间的瞄准情况；本传感器可测深径比大，具有三维探测能力。
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公开(公告)号：CN103900471A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118968.4
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于双入射光纤共球耦合的微测量力瞄准传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器a、激光器b、扩束准直镜a、扩束准直镜b、光纤耦合透镜a、光纤耦合透镜b、导管、显微物镜、CCD相机、计算机和由入射光纤a、入射光纤b、耦合器、出射光纤组成的探针，入射光纤a与入射光纤b用胶进行侧向粘连，耦合器作为探针的触点，激光器a和激光器b发出的两束激光为非相干光，光束经入射光纤a、入射光纤b导入耦合器后由出射光纤导出，导出光束经显微物镜进入CCD相机，通过图像处理技术可以得到出射光束在CCD相机上形成的光斑能量中心位置，即可判断出传感器在空间的瞄准情况；本传感器方向性好、抗干扰能力强、分辨力高。
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公开(公告)号：CN102564309A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110456011.7
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于光纤布拉格光栅的微孔尺寸测量装置及方法属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；该装置由用于产生瞄准信号的瞄准及发讯装置、用于在测量瞄准及发讯装置发出的启测及停测信号的时间间隔内测量被测微孔移动距离的测长装置和用于对整个测量装置的测量过程进行控制的计算机组成，该方法通过不断将工作台沿与测长方向垂直的方向上移动，并沿测量线方向移动工作台，获得探针相对于被测微孔的最大位移量，从而得出被测微孔直径，本发明大幅度提高了瞄准及发讯装置对环境的适应能力，具有结构简单、实时性好、易于实际应用的特点，在对微孔尺寸实施快速、超精密的测量与校准中具有显著优势。
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公开(公告)号：CN103900466B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201410118360.1
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于偏振态检测的温度自补偿双光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术；传感器包括偏振光发生装置、半透半反棱镜、波片、测量探针、偏振态检测装置、温度补偿装置、计算机，其中偏振光发生装置、半透半反棱镜、波片、测量探针依次排列，偏振光发生装置的出射光光轴与测量探针的入射光光轴重合，偏振态检测装置A位于测量探针的出射光经半透半反棱镜后的反射光路光轴A上，偏振态检测装置B位于参考探针的出射光经反射镜B反射后的反射光路光轴B上，当偏振态检测装置A检测到的光束的偏振态相对于偏振态检测装置B检测到的偏振态的差值发生变化时，测量探针与待测微孔发生触测；本传感器具有温度补偿功能、精度高、速度快。
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公开(公告)号：CN103900469B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201410118923.7
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种基于偏振态检测的双光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器、起偏器、半透半反棱镜、λ波片、由入射光纤、出射光纤、耦合球组成探针、偏振态检测装置和计算机，激光器、起偏器、半透半反棱镜、λ波片、探针依次排列，其中激光器出射光光轴与入射光纤入射光光轴重合，偏振态检测装置A位于出射光纤的出射光经半透半反棱镜反射后的反射光路光轴上，偏振态检测装置B位于激光器出射的光束经起偏器后第一次经半透半反棱镜反射的反射光路光轴上，当偏振态检测装置A检测到的光束的偏振态相对于偏振态检测装置B检测到的偏振态的差值发生变化时，探针与被测孔发生触测；本传感器精度高、速度快、具有三维测量能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103900472A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118970.1
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于偏振态检测的双入射保偏平光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器A、B、起偏器A、B、平面反射镜A、B、半透半反棱镜、波片、探针、偏振态检测装置、计算机，其中探针由入射光纤A、入射光纤B、出射光纤、耦合球组成，半透半反棱镜、波片、探针依次排列，所述激光器A出射光经起偏器A由平面反射镜A反射进入射光纤A，激光器B出射光经起偏器B由平面反射镜B反射进入射光纤B，偏振态检测装置A、B分别接收光束第一、二次经半透半反棱镜反射的光束，当偏振态检测装置B检测到的偏振态相对于偏振态检测装置A检测到的偏振态的差值发生变化时，探针与被测孔发生触测；本传感器精度高，速度快。
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公开(公告)号：CN103900468A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118922.2
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 带有端面微结构的双光纤共球耦合微测量力瞄准传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器、扩束准直镜、光纤耦合透镜、导管、显微物镜、CCD相机、计算机和由入射光纤、耦合器、带有锥形端面微结构的出射光纤组成的探针，耦合器作为探针的触点，光束经入射光纤导入耦合器后由带有锥形端面微结构的出射光纤导出，导出光束经显微物镜进入CCD相机，通过图像处理技术即可得到出射光束在CCD相机上形成的光斑能量中心位置，由CCD相机上光斑能量中心位置与传感器触测点在空间位置的一一对应关系即可得出传感器在空间的瞄准情况；本传感器探针中的出射光纤带有端面微结构，极大的提高了检测信号的信噪比，提升了传感器的测量分辨力。
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公开(公告)号：CN103900472B
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201410118970.1
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于偏振态检测的双入射保偏平光纤耦合球微尺度传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器A、B、起偏器A、B、平面反射镜A、B、半透半反棱镜、波片、探针、偏振态检测装置、计算机，其中探针由入射光纤A、入射光纤B、出射光纤、耦合球组成，半透半反棱镜、波片、探针依次排列，所述激光器A出射光经起偏器A由平面反射镜A反射进入射光纤A，激光器B出射光经起偏器B由平面反射镜B反射进入射光纤B，偏振态检测装置A、B分别接收光束第一、二次经半透半反棱镜反射的光束，当偏振态检测装置B检测到的偏振态相对于偏振态检测装置A检测到的偏振态的差值发生变化时，探针与被测孔发生触测；本传感器精度高，速度快。
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公开(公告)号：CN102519370B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201110438936.9
申请日：2011-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/03
Abstract: 基于正交二维微焦准直的微孔测量装置与方法属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；支撑底座上装配两个支撑架，支撑架上装配横梁，支撑底座的凹槽内装配Z向运动部件，Z向测长装置装配在Z向运动部件的侧面，工作台固定在Z向运动部件的上方，Y向测长装置装配在工作台的内部，测量传感器固定吊挂在横梁的中间位置上，X向测长装置位于支撑底座的左侧位置，其平面反射镜固定装配在测量传感器的左侧，通过数据线依次将测量传感器、X、Y、Z向测长装置与计算机相连，该方法将工作台在指定测量方向的垂直方向上不断移动，反复测量得到的两触测点间的距离的最大值即为被测微孔直径，本发明具有传感零耦合、能进行方向探测、测力小等特点。
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公开(公告)号：CN103900470A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410118924.1
申请日：2014-03-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于三光纤共球耦合的微测量力瞄准传感器属于精密仪器制造及测量技术；该传感器包括激光器、扩束准直镜、光纤耦合透镜、导管、显微物镜b、CCD相机b、显微物镜a、CCD相机a、计算机和由入射光纤、耦合器、出射光纤a、出射光纤b组成的探针，耦合器作为探针的触点，光束经入射光纤导入耦合器后分别由出射光纤a和出射光纤b导出，导出光束分别经显微物镜a、显微物镜b进入CCD相机a、CCD相机b，通过图像处理技术即可得到两束出射光束分别在CCD上形成的光斑能量中心位置，由CCD相机上光斑能量中心位置与传感器触测点在空间位置的一一对应关系即可得出传感器在空间的瞄准情况；本传感器可测深径比大，具有三维探测能力。
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