公开(公告)号：CN101951146A

公开(公告)日：2011-01-19

申请号：CN201010289165.7

申请日：2010-09-21

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 田修波 ,  朱宗涛 ,  巩春志 ,  杨士勤

IPC: H02M3/07

Abstract: 陡下降沿低功耗的等离子浸没离子注入用高压脉冲调制器及调制方法，属于脉冲功率技术领域。它解决了现采用的等离子浸没离子注入用高压脉冲调制器输出脉冲的下降沿长的问题。它采用真空电子管作为主开关调制高压脉冲，用充电IGBT串联开关控制高压脉冲电容器的充电过程，消除了充电限流电阻上的功耗；当高压脉冲关断时，下拉IGBT串联开关开通，负载电容和寄生电容中残留的电荷能够迅速流经放电限流器件和下拉IGBT串联开关释放掉，使得输出高压脉冲的下降沿大大减小。本发明用于等离子体浸没离子注入工艺中对高压脉冲的精确控制。

公开(公告)号：CN101951146B

公开(公告)日：2012-08-29

申请号：CN201010289165.7

申请日：2010-09-21

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 田修波 ,  朱宗涛 ,  巩春志 ,  杨士勤

IPC: H02M3/07

Abstract: 陡下降沿低功耗的等离子浸没离子注入用高压脉冲调制器及调制方法，属于脉冲功率技术领域。它解决了现采用的等离子浸没离子注入用高压脉冲调制器输出脉冲的下降沿长的问题。它采用真空电子管作为主开关调制高压脉冲，用充电IGBT串联开关控制高压脉冲电容器的充电过程，消除了充电限流电阻上的功耗；当高压脉冲关断时，下拉IGBT串联开关开通，负载电容和寄生电容中残留的电荷能够迅速流经放电限流器件和下拉IGBT串联开关释放掉，使得输出高压脉冲的下降沿大大减小。本发明用于等离子体浸没离子注入工艺中对高压脉冲的精确控制。

公开(公告)号：CN201797448U

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：CN201020540368.4

申请日：2010-09-25

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 田修波 ,  朱宗涛 ,  巩春志 ,  杨士勤

IPC: H02M7/155 ,  H02M3/335 ,  H02M1/14 ,  H02H7/10

Abstract: 基于全PLC控制的高压脉冲电源，属于脉冲功率技术领域。它解决了现有高压脉冲电源的单片机控制系统抗干扰能力差及其主电路的原始体积大的问题。它由主回路和控制回路组成，用可编程逻辑控制器输出占空比一定、频率连续可调的脉冲，同步触发产生一个同频率、脉宽固定的矩形波，再将其变为宽度一定的锯齿波，该锯齿波与PLC输出的模拟量比较产生一个新的脉冲，通过改变输出模拟量的大小，实现脉宽的连续调节，最小输出脉宽可以达到几个微秒，该脉冲再经过功率放大，驱动栅极电路，实现高压脉冲的调制，它以可编程逻辑控制器作为控制核心，通过人机界面，方便地设定和显示电源的各工作参数。本实用新型用作高压脉冲电源。