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公开(公告)号：CN110139459B
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN201910535465.X
申请日：2019-06-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05H1/46
Abstract: 一种基于旋转磁场高密度球形等离子体发生装置，属于低温等离子体的应用技术领域，本发明为解决现有等离子发生装置各自存在缺陷，不能满足多种工业需求的问题。本发明包括真空系统和放电系统，所述真空系统由球形等离子体主产生区及左右两侧对称与其真空连通的T型臂构成，两个T型臂的水平臂外半段端部封闭，两个T型臂的竖直臂端部通过快接法兰连接真空泵；放电系统的预电离线圈绕制在两个T型臂的水平臂内半段上，用于对球形等离子体主产生区内的气体进行预电离以得到种子电子；主放电线圈由x‑y平面内正交放置的两组线圈构成，用于在球形等离子体主产生区产生旋转磁场；约束线圈为z轴方向放置的线圈，用于约束电子以提高等离子体密度。
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