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公开(公告)号:CN2148311Y
公开(公告)日:1993-12-01
申请号:CN92225165.7
申请日:1992-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/30
Abstract: 本实用新型为亚微米级超精加工表面的非接触式微观形貌测量提供了一种超高精度的激光测头。它由激光器、反射镜、望远系统、分光镜、截距调节装置和光电接收器组成,激光束通过渥拉斯顿棱镜的分光,在工件表面上形成两个探测光点,采用相位比较的信号处理系统,测量分辨率比现有最高水平提高10%。该测头结构紧凑,使用方便,容易提高测量精度。它适用于航空航天、精密工程及微电子技术领域中超精密表面的测量分析。
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