公开(公告)号：CN118166324A

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202410298613.1

申请日：2024-03-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 闫牧夫 ,  张诗东 ,  张雁祥 ,  闫扶摇

IPC: C23C14/35 ,  C23C14/02 ,  C23C14/16 ,  C23C14/06 ,  C23C14/54

Abstract: 一种基于闭合场非平衡磁控溅射离子镀制备梯度Ti‑DLC复合自润滑薄膜的方法，本发明涉及类金刚石薄膜制备技术领域。本发明是要解决金属基体材料在高速重载、剧烈摩擦和严重腐蚀等服役条件经常会出现磨损和断裂等失效的问题。本发明采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀在金属基体表面制备梯度Ti‑DLC复合自润滑薄膜，首先氩离子溅射清洗试样表面，然后通过调控石墨靶和钛靶电流来依次沉积打底层、Ti/C梯度层、Ti‑C复合层和DLC顶层。本发明方法作简单有效，制备的梯度Ti‑DLC复合自润滑薄膜具有优异的耐磨耐蚀性能，且明显地降低了薄膜与基体材料在干摩擦条件下的摩擦系数和磨损率。本发明方法适用于金属基体表面耐磨减摩自润滑薄膜的制备。