一种开放环境下气体杂质的分析检测装置及方法

    公开(公告)号:CN114088690B

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202111319632.0

    申请日:2021-11-09

    Abstract: 本发明提供一种开放环境下气体杂质的分析检测装置及方法,该装置包括等离子体发生装置、朗缪尔探针系统和可调节直流电源,可调节直流电源和朗缪尔探针系统与等离子体发生装置均连接,等离子体发生装置包括片状的阳极、阴极和电离探测器,阳极、阴极和电离探测器相互堆叠设置,阳极、阴极和电离探测器处贯穿设置有电离通孔。本发明的有益效果:能够在开放环境下更精确地对气体电离后的等离子体进行探测,进而使得气体杂质的分析更加精确。

    一种开放环境下气体杂质的分析检测装置及方法

    公开(公告)号:CN114088690A

    公开(公告)日:2022-02-25

    申请号:CN202111319632.0

    申请日:2021-11-09

    Abstract: 本发明提供一种开放环境下气体杂质的分析检测装置及方法,该装置包括等离子体发生装置、朗缪尔探针系统和可调节直流电源,可调节直流电源和朗缪尔探针系统与等离子体发生装置均连接,等离子体发生装置包括片状的阳极、阴极和电离探测器,阳极、阴极和电离探测器相互堆叠设置,阳极、阴极和电离探测器处贯穿设置有电离通孔。本发明的有益效果:能够在开放环境下更精确地对气体电离后的等离子体进行探测,进而使得气体杂质的分析更加精确。

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