公开(公告)号：CN103245310A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201310152943.1

申请日：2013-04-27

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 贺强 ,  约翰尼斯·福律 ,  拉尔夫·克勒 ,  安·柯可卡亚 ,  肖瑞·库伯

IPC: G01B15/08 ,  G01B15/02 ,  G01N9/24

Abstract: 一种采用X射线反射仪测量样品表面特性的方法，本发明涉及采用X射线反射仪的测量方法。本发明是要解决现有反射仪只能对平面进行研究并且测量样品时间过长的问题，而提供了一种采用X射线反射仪的测量方法。一、采用X射线反射仪对样品表面进行照射；二、反射光强度通过检测装置进行检测；三、对检测到的反射光强度进行计算并测量；四、对测量偏差进行校正。本发明应用于光学测量领域。

公开(公告)号：CN103245310B

公开(公告)日：2015-08-19

申请号：CN201310152943.1

申请日：2013-04-27

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 贺强 ,  约翰尼斯·福律 ,  拉尔夫·克勒 ,  安·柯可卡亚 ,  肖瑞·库伯

IPC: G01B15/08 ,  G01B15/02 ,  G01N9/24

Abstract: 一种采用X射线反射仪测量样品表面特性的方法，本发明涉及采用X射线反射仪的测量方法。本发明是要解决现有反射仪只能对平面进行研究并且测量样品时间过长的问题，而提供了一种采用X射线反射仪的测量方法。一、采用X射线反射仪对样品表面进行照射；二、反射光强度通过检测装置进行检测；三、对检测到的反射光强度进行计算并测量；四、对测量偏差进行校正。本发明应用于光学测量领域。