用于复合镀电沉积的电镀装置

    公开(公告)号:CN102051656B

    公开(公告)日:2012-07-25

    申请号:CN201010593678.7

    申请日:2010-12-17

    Abstract: 用于复合镀电沉积的电镀装置,它涉及一种复合电镀装置,以解决倾斜阴极法电沉积复合镀层时,阳极不能倾斜固定在镀槽中,阴极倾斜角度不易控制,造成复合镀的工艺参数不稳定及镀槽底部没有空气入口的问题。框支架的敞开面与底座上的数个调整孔垂直设置,镀槽固定圈套装在镀槽的外侧壁上,镀槽和镀槽固定圈的组件设置在框支架中,且斜面的高点一侧朝向调整孔,镀槽固定圈通过转轴与框支架连接,通气管的输出端设置在镀槽内,第一镀槽调整杆、第二镀槽调整杆、第三镀槽调整杆、第四镀槽调整杆、第五镀槽调整杆、第六镀槽调整杆、第七镀槽调整杆和第八镀槽调整杆由镀槽至底座的后部依次设置在调整孔中且调整杆高度逐渐减小。本发明用于金属表面处理。

    用于复合镀电沉积的电镀装置

    公开(公告)号:CN102051656A

    公开(公告)日:2011-05-11

    申请号:CN201010593678.7

    申请日:2010-12-17

    Abstract: 用于复合镀电沉积的电镀装置,它涉及一种复合电镀装置,以解决倾斜阴极法电沉积复合镀层时,阳极不能倾斜固定在镀槽中,阴极倾斜角度不易控制,造成复合镀的工艺参数不稳定及镀槽底部没有空气入口的问题。框支架的敞开面与底座上的数个调整孔垂直设置,镀槽固定圈套装在镀槽的外侧壁上,镀槽和镀槽固定圈的组件设置在框支架中,且斜面的高点一侧朝向调整孔,镀槽固定圈通过转轴与框支架连接,通气管的输出端设置在镀槽内,第一镀槽调整杆、第二镀槽调整杆、第三镀槽调整杆、第四镀槽调整杆、第五镀槽调整杆、第六镀槽调整杆、第七镀槽调整杆和第八镀槽调整杆由镀槽至底座的后部依次设置在调整孔中且调整杆高度逐渐减小。本发明用于金属表面处理。

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