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发明公开
一种光学元件表面颗粒物清洁装置及方法审中-实审

公开(公告)号：CN116475164A

公开(公告)日：2023-07-25

申请号：CN202310596199.8

申请日：2023-05-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈家轩 , 周锐焓 , 卢礼华 , 张鹏

IPC: B08B5/02 , B08B7/00 , B08B13/00

Abstract: 本发明提供了一种光学元件表面颗粒物清洁装置及方法，涉及表面洁净技术领域。该装置包括：清扫气流发生机构、带电粒子发生机构、气源管路和带电粒子输送管路；所述气源管路与所述带电粒子发生机构连接，用于提供带压气流；所述带电粒子发生机构用于生成带电粒子；所述带电粒子输送管路的一端与所述带电粒子发生机构连接，另一端与所述清扫气流发生机构连接，用于输送含带电粒子的气流；所述清扫气流发生机构，用于将所述含带电粒子的气流形成清扫气流以吹扫光学元件表面颗粒物。本技术方案的有益效果是：清扫气流发生机构产生的清扫气流中带有带电粒子，提高了清扫气流对光学元件表面颗粒物的去除效率。

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