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公开(公告)号:CN101176923A
公开(公告)日:2008-05-14
申请号:CN200710144775.6
申请日:2007-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 菲涅尔结构微光学元件的加工装置,它涉及衍射光学元件加工装置。它解决了现有单点金刚石超精密车削加工装置在加工过程中刀具轨迹是靠机床的多个轴进行插补后得到的,因此,存在一定的原理性加工误差的问题。本发明的液压马达(6)设在X向溜板(2)上,刀架(4)与液压马达(6)的输出轴连接,刀具(5)为半尖形状固定在刀架(4)上,刀架(4)上设有压电陶瓷(7)和双柔性平行四杆机构(8),压电陶瓷(7)的上端与双柔性平行四杆机构(8)连接。本发明的装置能够加工大深宽比的三维结构,并能够实现在曲面基底上加工较为复杂的微结构;加工零件的成形精度达亚微米级,无须后续抛光表面粗糙度Ra值达到5nm,加工效率高,成本低等。
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公开(公告)号:CN101367252A
公开(公告)日:2009-02-18
申请号:CN200810137118.3
申请日:2008-09-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B28D1/16
Abstract: 本发明的目的在于提供一种应用于金刚石超精密车削加工菲涅耳透镜的金刚石刀具设计方法。在进行金刚石刀具设计时,需要设计的主要参数有偏角θ,刀尖角φ,刀尖圆弧半径Rl和刀尖过渡半径Rm。偏角θ的设计原则主要是保证当加工最外环带的阶梯面时,不能发生干涉;刀尖角φ的设计原则是一方面保证在加工最外环带的球与阶梯面连接处时,不发生干涉,另一方面保证刀具刀尖的强度;刀尖圆弧半径Rl和刀尖过渡半径Rm设计时主要考虑的因素是刀尖圆弧半径会影响菲涅耳透镜的衍射效率。所设计的金刚石刀具可以实现高精度菲涅耳透镜的加工,可以消除常规加工中原理性误差,可以降低由于圆弧半径导致的菲涅耳透镜结构光能损失。
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公开(公告)号:CN103817355A
公开(公告)日:2014-05-28
申请号:CN201410075821.1
申请日:2014-03-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及精密超精密加工技术领域,提供了一种超声振动加工装置,主要由超声振动单元、外壳和刀具组成。缩紧环结构的外壳对超声振动单元的2处波节位置进行紧固,非常容易调整外壳的长度,实现外壳内环形凸台始终紧固在超声振动单元的波节位置。该装置的工作频率在38±0.5KHz,不产生噪声污染,加工效率高,且其装配环节少、刀片安装和卸载方便;同时,该装置刚度好、密封性好;本发明在难加工材料加工和细长轴、薄壁件等弱刚度零件的切削加工方面效果显著,可以显著减小切削力、切削温度,刀具磨损和工件材料切削加工变形,提高了工件加工表面质量和形位精度,减少了后续加工工艺,进而提高加工效率和经济性。
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公开(公告)号:CN101176923B
公开(公告)日:2010-12-08
申请号:CN200710144775.6
申请日:2007-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 菲涅尔结构微光学元件的加工装置,它涉及一种微光学元件加工装置。它解决了现有单点金刚石超精密车削加工装置在加工过程中刀具轨迹是靠机床的多个轴进行插补后得到的,因此,存在一定的原理性加工误差的问题。本发明的液压马达(6)设在X向溜板(2)上,刀架(4)与液压马达(6)的输出轴连接,刀具(5)为半尖形状固定在刀架(4)上,刀架(4)上设有压电陶瓷(7)和双柔性平行四杆机构(8),压电陶瓷(7)的上端与双柔性平行四杆机构(8)连接。本发明的装置能够加工大深宽比的三维结构,并能够实现在曲面基底上加工较为复杂的微结构;加工零件的成形精度达亚微米级,无须后续抛光表面粗糙度Ra值达到5nm,加工效率高,成本低等。
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