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公开(公告)号：CN100381935C
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：CN200610150983.2
申请日：2006-11-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 基于谐波共振方法的并行激光直接写入方法与装置属于激光直接写入方法与设备；本方法将汇合于二向分色镜的写入激光与检焦激光共同进入投影滤波系统、谐衍射物镜阵列，在基片表面分别形成曝光点组合点阵和检焦点点阵；曝光点组合点阵与载有基片的工作台联动控制，完成任意浮雕图形的曝光制作；检焦点点阵被基片反射，再次通过谐衍射物镜阵列、投影滤波系统、二向分色镜、λ/4波片、偏振分光棱镜后，反射进入离焦检测系统形成离焦信号，与计算机、调焦驱动系统共同作用完成调焦伺服；其装置配装二向分色镜和谐衍射物镜阵列；本发明可以实现同步调焦写入，提高衍射物镜的衍射效率。
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公开(公告)号：CN1952789A
公开(公告)日：2007-04-25
申请号：CN200610150983.2
申请日：2006-11-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 基于谐波共振方法的并行激光直接写入方法与装置属于激光直接写入方法与设备；本方法将汇合于二向分色镜的写入激光与检焦激光共同进入投影滤波系统、谐衍射物镜阵列，在基片表面分别形成曝光点组合点阵和检焦点点阵；曝光点组合点阵与载有基片的工作台联动控制，完成任意浮雕图形的曝光制作；检焦点点阵被基片反射，再次通过谐衍射物镜阵列、投影滤波系统、二向分色镜、λ/4波片、偏振分光棱镜后，反射进入离焦检测系统形成离焦信号，与计算机、调焦驱动系统共同作用完成调焦伺服；其装置配装二向分色镜和谐衍射物镜阵列；本发明可以实现同步调焦写入，提高衍射物镜的衍射效率。
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公开(公告)号：CN100399194C
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200610010129.6
申请日：2006-06-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于微光学阵列多点曝光的极坐标直接写入方法及装置。本发明属于超精密激光直接写入式微结构和微阵列光学器件制作领域。本发明的方法：首先，通过光强宏微双重调制分束的方法，使在每一环带内产生与径向位置成正比的写入光强，满足极坐标系中光调制系统宽的动态调制范围和快的调制反应速度的要求，可显著提高曝光光强的调制分辨力；其次，通过微光学阵列聚焦写入激光，在曝光基片上形成以确定方式排列的曝光点组合点阵；同时，通过依据回转工作台的回转扫描方式的曝光点组合点阵的联动控制，完成任意浮雕图形的曝光制作。本发明还提供一种基于微光学阵列多点曝光的极坐标直接写入装置。本发明用作多点曝光的极坐标直接写入。
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公开(公告)号：CN1858650A
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：CN200610010129.6
申请日：2006-06-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于微光学阵列多点曝光的极坐标直接写入方法及装置。本发明属于超精密激光直接写入式微结构和微阵列光学器件制作领域。本发明的方法：首先，通过光强宏微双重调制分束的方法，使在每一环带内产生与径向位置成正比的写入光强，满足极坐标系中光调制系统宽的动态调制范围和快的调制反应速度的要求，可显著提高曝光光强的调制分辨力；其次，通过微光学阵列聚焦写入激光，在曝光基片上形成以确定方式排列的曝光点组合点阵；同时，通过依据回转工作台的回转扫描方式的曝光点组合点阵的联动控制，完成任意浮雕图形的曝光制作。本发明还提供一种基于微光学阵列多点曝光的极坐标直接写入装置。本发明用作多点曝光的极坐标直接写入。
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