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公开(公告)号：CN116377414A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202211666152.6
申请日：2022-12-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/26 , C23C16/505
Abstract: 一种通过等离子体增强化学气相沉积增材技术实现零件表面超光滑的方法，它涉及一种实现零件表面超光滑的方法。本发明要解决传统减材超光滑方法耗时长，且现有DLC沉积技术未实现粗糙度由纳米级降低至亚纳米级的问题。方法：将待处理的零件放入真空室中并抽真空，然后通入乙炔气体，控制真空室内气压，然后通过射频辉光放电在真空室内部产生乙炔等离子体，设置射频功率，并在待处理的零件上施加脉冲电压，在零件表面进行等离子体增强化学气相沉积得到DLC薄膜。本发明用于通过等离子体增强化学气相沉积增材技术实现零件表面超光滑。
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