公开(公告)号：CN101860255A

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN201010140692.1

申请日：2010-04-07

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 张潮海 ,  刘春芳 ,  吕鹏 ,  刘卫星 ,  张子敬

IPC: H02M9/06 ,  H05H1/24

Abstract: 放电等离子体极紫外线光源中的主脉冲电源，具体涉及一种用于极紫外光刻光源的电源，解决了目前无法基于放电等离子体技术实现极紫外线光源的电源这一问题。本发明所述的主脉冲电源由初级充电部分、储能及脉冲形成部分、脉冲压缩部分和毛细管放电单元组成，电网的三相电压输出端的三端分别与初级充电部分的三相电压输入端的三端相连，初级充电部分的电压输出端与储能及脉冲形成部分的电压输入端相连，储能及脉冲形成部分的电压输出端与脉冲压缩部分的电压输入端相连，脉冲压缩部分的脉冲输出端与毛细管放电单元的脉冲输入端相连。本发明基于等离子体技术将极紫外线光源中的主脉冲电源进行实现，用于极紫外光刻技术。

公开(公告)号：CN101710445A

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200910250507.1

申请日：2009-12-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 徐殿国 ,  高强 ,  王栋 ,  刘卫星 ,  吕媛媛 ,  袁丽丽 ,  崔影

IPC: G08C19/16

Abstract: 基于模拟电流环的多参数远距离传输装置，涉及传输装置。它为了解决电压信号在远距离数据传输过程中常会受到噪声的干扰，传输线缆的分布电阻会使其产生压降的问题而提出。所述井上组件由电流环电源和采样电阻组成；井下组件包括电压电流转换电路模块和滤波电路模块；滤波电路模块的电压信号输入端与电流环路的正相线缆相连，参考电阻的一端和第一、二恒流源二极管的阴极相连，第一、二恒流源二极管的阳极同时与限流电阻另一端相连，参考电阻的另一端同时与第二、七二极管的阳极、电流环路的负相线缆和地线相连。它对电流环电源的要求不高，供电电压输入井下组件前有滤波电路，保证其稳定性；整个传输过程中电流信号无损耗，尤其适用于远距离信号的传输。

公开(公告)号：CN201549066U

公开(公告)日：2010-08-11

申请号：CN200920292831.5

申请日：2009-12-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 徐殿国 ,  高强 ,  王栋 ,  刘卫星 ,  袁丽丽 ,  吕媛媛 ,  崔影 ,  刘景芳 ,  佟永涛

IPC: G08C19/00 ,  G08C15/06

Abstract: 基于模拟电流环的多参数远距离传输装置，涉及传输装置。它为了解决电压信号在远距离数据传输过程中常会受到噪声的干扰，传输线缆的分布电阻会使其产生压降的问题而提出。所述井上组件由电流环电源和采样电阻组成；井下组件包括电压电流转换电路模块和滤波电路模块；滤波电路模块的电压信号输入端与电流环路的正相线缆相连，参考电阻的一端和第一、二恒流源二极管的阴极相连，第一、二恒流源二极管的阳极同时与限流电阻另一端相连，参考电阻的另一端同时与第二、七二极管的阳极、电流环路的负相线缆和地线相连。它对电流环电源的要求不高，供电电压输入井下组件前有滤波电路，保证其稳定性；整个传输过程中电流信号无损耗，尤其适用于远距离信号的传输。