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公开(公告)号：CN101839695A
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN201010208325.0
申请日：2010-06-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/06
Abstract: LED式固态红外薄膜厚度测量方法，属于塑料薄膜厚度光学测量领域，本发明为解决采用传统的红外透射法测量薄膜厚度测量误差大、响应速度低的问题。本发明方法为：吸收光LED在光源调制电路的控制下输出波长3.4μm的光脉冲，参比光LED在光源调制电路的控制下后输出波长3.1μm的光脉冲，所述两路不同波长的光同时打在薄膜的同一位置上，透过薄膜的两路光由PbSe传感器吸收并输出电压信号，信号运算和处理单元在光源调制电路输出的同步控制信号的控制下接收所述电压信号，信号运算和处理单元根据接收的电压信号获取薄膜的厚度信息。本发明方法用于在线测量薄膜的厚度。
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