公开(公告)号：CN101867052A

公开(公告)日：2010-10-20

申请号：CN201010199711.8

申请日：2010-06-13

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 张宇峰 ,  何洪 ,  樊琪 ,  王诗博 ,  张博 ,  刘晓为

IPC: H01M8/10 ,  H01M4/86 ,  H01M8/02

CPC classification number: Y02P70/56

Abstract: 本发明提供一种利用微细精密加工技术的轮辐式自呼吸微型燃料电池及其制备方法。它是由阳极端板、阳极极板、胶垫、膜电极、阴极极板和阴极端板组成的，阳极端板连接阳极极板，阳极极板连接胶垫，胶垫分别连接膜电极和阴极极板，阴极极板连接阴极端板。制备方法是利用低压化学气相淀积法在硅片表面制备作为腐蚀掩模的氮化硅Si3N4薄膜；利用光刻技术在薄膜上形成掩模图形，利用磁控溅射技术在硅片腐蚀面形成Ti/Au的金属层，利用微细精密加工技术加工高分子材料制成。本发明结构紧凑、有效降低电池内阻、工艺流程简单、制造成本低、确保成品率、占用空间小，节省体积。