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公开(公告)号：CN105695956A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610191935.1
申请日：2016-03-30
Applicant: 同济大学
IPC: C23C16/448 , C23C16/44
CPC classification number: C23C16/4485 , C23C16/44
Abstract: 本发明涉及一种气相沉积装置，包括反应腔体(1)，还包括反应物注入组件、真空减压组件和温度控制组件，所述的反应物注入组件和真空减压组件均与反应腔体(1)连通；将基底物(2)放入反应腔体(1)中，用真空减压组件将反应腔体(1)抽真空后，关闭真空减压组件，通过反应物注入组件将反应物注入反应腔体(1)中，通过温度控制组件控制反应腔体(1)内的温度，使得反应物气化并沉积在基底物(2)表面。与现有技术相比，本发明具有操作方便、气相沉积过程可控、结构简单、成本低廉并且适合大规模商业化应用等优点。
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公开(公告)号：CN105695956B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201610191935.1
申请日：2016-03-30
Applicant: 同济大学
IPC: C23C16/448 , C23C16/44
Abstract: 本发明涉及一种气相沉积装置，包括反应腔体(1)，还包括反应物注入组件、真空减压组件和温度控制组件，所述的反应物注入组件和真空减压组件均与反应腔体(1)连通；将基底物(2)放入反应腔体(1)中，用真空减压组件将反应腔体(1)抽真空后，关闭真空减压组件，通过反应物注入组件将反应物注入反应腔体(1)中，通过温度控制组件控制反应腔体(1)内的温度，使得反应物气化并沉积在基底物(2)表面。与现有技术相比，本发明具有操作方便、气相沉积过程可控、结构简单、成本低廉并且适合大规模商业化应用等优点。
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公开(公告)号：CN105688762B
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201610191962.9
申请日：2016-03-30
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种具有均匀核壳结构的复合材料的低成本制备方法，该方法包括以下步骤：(1)将基底材料置于反应腔体中，抽真空使反应腔体内呈真空状态；(2)将催化剂注入反应腔体中，调控温度使催化剂气化，沉积在基底材料的表面；(3)将反应腔体中多余的催化剂除去，再次抽真空使反应腔体内呈真空状态；(4)将包覆材料注入反应腔体中，调控温度使包覆材料气化，在催化剂的作用下与基底材料发生化学反应，包覆在基底材料的表面，形成核壳结构坯料；(5)将坯料取出，20～160℃真空干燥0.5～24h，去除坯料上残留的催化剂和包覆材料，得到具有均匀核壳结构的复合材料。与现有技术相比，本发明具有步骤简单、容易实现等优点。
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公开(公告)号：CN105688762A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610191962.9
申请日：2016-03-30
Applicant: 同济大学
CPC classification number: B01J13/0091 , C01G31/02 , C01P2004/04 , C08G61/126 , C08G73/0266 , C08G73/0611
Abstract: 本发明涉及一种具有均匀核壳结构的复合材料的低成本制备方法，该方法包括以下步骤：(1)将基底材料置于反应腔体中，抽真空使反应腔体内呈真空状态；(2)将催化剂注入反应腔体中，调控温度使催化剂气化，沉积在基底材料的表面；(3)将反应腔体中多余的催化剂除去，再次抽真空使反应腔体内呈真空状态；(4)将包覆材料注入反应腔体中，调控温度使包覆材料气化，在催化剂的作用下与基底材料发生化学反应，包覆在基底材料的表面，形成核壳结构坯料；(5)将坯料取出，20～160℃真空干燥0.5～24h，去除坯料上残留的催化剂和包覆材料，得到具有均匀核壳结构的复合材料。与现有技术相比，本发明具有步骤简单、容易实现等优点。
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