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公开(公告)号：CN101914215A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010192578.3
申请日：2010-06-04
Applicant: 同济大学
Abstract: 微波辐照制备高活性压电功能膜的方法，涉及一种高活性压电功能膜的制作方法。先将市售的聚丙烯多孔膜，或COC、PET、FEP、PEN等多孔膜作为原膜浸泡入对微波有响应的二氯甲烷、三氯甲烷、丙酮、丁酮、乙醇等溶剂中，浸泡时间为20h-30h，接着从溶剂中取出后置于微波下辐照，辐照能量为1.9×10-25～1.99×10-22J，辐照时间为50s-100s，浸入膜孔洞中的溶剂被微波加热，使得溶剂的温度上升，孔洞中的溶剂在热化下变成气体，达到膨化孔洞的效果，最后立即在0℃冰水中冷却，即得到孔洞体积提高到原来的2-3倍，厚度比原膜增加30％以上，密度比原膜降低10％-20％的高活性压电功能膜。本发明工艺简单，制作成本低，设备投资低廉易得，安全性好。得到的高活性压电驻极体膜适合作为柔性机电转换材料。
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公开(公告)号：CN1596036A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN200410025634.9
申请日：2004-06-30
Applicant: 同济大学 , 复旦大学 , 深圳市豪恩电声科技有限公司
IPC: H04R31/00
Abstract: 本发明为一种利用有机胶粘剂连接两片式硅微型话筒的方法，具体是选择低聚合度、低交联度和具有合适熔融温区的固态有机胶粘剂，采用真空热蒸发技术在话筒的背极片，振膜片的设计接触区域沉积胶粘剂，再通过两片套准工艺，在受控温度下热压胶粘实现两片连接。本发明方法可使粘结工艺与驻极体工艺兼容，并可避免胶粘剂在振膜片的振膜区或者背极片的气孔内沉积，因而不影响器件的灵敏度及频响特性。此外，还可实现含有大量话筒结构单元的硅片的整片胶结，具有产业化前景。
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公开(公告)号：CN1528500A
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN200310107927.7
申请日：2003-10-16
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明属超净化工程(或环境保护技术)领域，具体涉及一种聚四氟乙烯驻极体多孔过滤膜的制备方法。本发明采用电晕充电或电子束充电以改变聚四氟乙烯过滤膜的通透性，通过调节电压(即针膜电场)、充电温度、通电时间、针膜距离来改变过滤膜的通透性，以实现具有不同孔度和不同孔径的过滤膜，达到适用于介质液体具有不同粒径污染物高效净化的目的，本发明结构简单，构思新颖，能有效的对污染的介质液体，如汽油(尤其是用于航空和航天及其它高科技领域)、变压器油和硅油等的高效净化。
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公开(公告)号：CN101624170B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200910056560.8
申请日：2009-08-18
Applicant: 同济大学
Abstract: 用模板制备有序微孔结构压电聚合物功能膜的方法，涉及一种有序微孔结构压电聚合物功能膜的制备工艺。本发明先制备具有凹凸有序图形的模板(4)，再制备呈现出与模板(4)的凹凸图形相对应的图形的有序多孔聚合物单层薄膜(2)，然后将有序多孔聚合物单层薄膜(2)夹在两致密膜中间，热压形成有序微孔结构压电聚合物功能膜。本发明工艺简单，不仅能得到高热稳定性和高压电灵敏度的机电转化功能膜，更为突出的优点是能精确控制膜的微观结构和储存空间电荷的能力。所得的功能膜可用于制造电声、声电、次声波、超声波传感器、平板扬声器、执行器，以及机器人皮肤等等，在通讯、保安、控制、医疗、机器人及军事领域等具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN1694577B
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200510026626.0
申请日：2005-06-09
Applicant: 复旦大学 , 深圳豪恩电声科技有限公司 , 同济大学
Abstract: 本发明属电声技术领域，具体为一种结构新型的单片硅基微型电容式麦克风。其中，振膜采用弹性系数高的单晶硅膜制作，背极板采用聚酰亚胺厚膜制成，振膜电极和背电极均采用浓硼埋层电极引出，仅在热压脚上制作厚度大于1μm的金属层。在背极板上有微型声学孔。此外，在形成振膜的单晶硅衬底正面集成一个JFET源极跟随器，以达到阻抗变换的目的。单晶硅膜的释放采用HF汽相腐蚀工艺，在振膜与背极板之间不会产生粘连现象，使芯片成品率大大提高。本发明提出的单片硅基微型电容式麦克风，制作工艺简单，成品率高，生产成本低，适宜于大规模生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101624170A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：CN200910056560.8
申请日：2009-08-18
Applicant: 同济大学
Abstract: 用模板制备有序微孔结构压电聚合物功能膜的方法，涉及一种有序微孔结构压电聚合物功能膜的制备工艺。本发明先制备具有凹凸有序图形的模板(4)，再制备呈现出与模板(4)的凹凸图形相对应的图形的有序多孔聚合物单层薄膜(2)，然后将有序多孔聚合物单层薄膜(2)夹在两致密膜中间，热压形成有序微孔结构压电聚合物功能膜。本发明工艺简单，不仅能得到高热稳定性和高压电灵敏度的机电转化功能膜，更为突出的优点是能精确控制膜的微观结构和储存空间电荷的能力。所得的功能膜可用于制造电声、声电、次声波、超声波传感器、平板扬声器、执行器，以及机器人皮肤等等，在通讯、保安、控制、医疗、机器人及军事领域等具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN1802037A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510030144.2
申请日：2005-09-29
Applicant: 深圳市豪恩电声科技有限公司 , 同济大学 , 复旦大学
Abstract: 本发明属传感器技术领域，具体为一种两片结构的背极式硅基微型驻极体电容话筒。其中，驻极体层位于带有背电极的固定背极板上，以单晶硅或多晶硅为振膜，振膜片上的振膜和硅框架以同种材料组成，以克服因应力不匹配导致的振膜高破损率；以二氯二甲基硅烷作为对氮氧化硅储电层的化学表面修正试剂，形成具有高抗湿能力的完善驻极体表面疏水层，通过调控栅控恒压或恒流电晕充电参数并组合热处理，以改善因包含大量声学孔的驻极体层所面临的电荷储存能力下降的问题。本发明大大提高了产品成品率。
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公开(公告)号：CN101914215B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201010192578.3
申请日：2010-06-04
Applicant: 同济大学
Abstract: 微波辐照制备高活性压电功能膜的方法，涉及一种高活性压电功能膜的制作方法。先将市售的聚丙烯多孔膜，或COC、PET、FEP、PEN等多孔膜作为原膜浸泡入对微波有响应的二氯甲烷、三氯甲烷、丙酮、丁酮、乙醇等溶剂中，浸泡时间为20h-30h，接着从溶剂中取出后置于微波下辐照，辐照能量为1.9×10-25～1.99×10-22J，辐照时间为50s-100s，浸入膜孔洞中的溶剂被微波加热，使得溶剂的温度上升，孔洞中的溶剂在热化下变成气体，达到膨化孔洞的效果，最后立即在0℃冰水中冷却，即得到孔洞体积提高到原来的2-3倍，厚度比原膜增加30％以上，密度比原膜降低10％-20％的高活性压电功能膜。本发明工艺简单，制作成本低，设备投资低廉易得，安全性好。得到的高活性压电驻极体膜适合作为柔性机电转换材料。
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公开(公告)号：CN1596036B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200410025634.9
申请日：2004-06-30
Applicant: 同济大学 , 复旦大学 , 深圳市豪恩电声科技有限公司
IPC: H04R31/00
Abstract: 本发明为一种利用有机胶粘剂连接两片式硅微型话筒的方法，具体是选择低聚合度、低交联度和具有合适熔融温区的固态有机胶粘剂，采用真空热蒸发技术在话筒的背极片，振膜片的设计接触区域沉积胶粘剂，再通过两片套准工艺，在受控温度下热压胶粘实现两片连接。本发明方法可使粘结工艺与驻极体工艺兼容，并可避免胶粘剂在振膜片的振膜区或者背极片的气孔内沉积，因而不影响器件的灵敏度及频响特性。此外，还可实现含有大量话筒结构单元的硅片的整片胶结，具有产业化前景。
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公开(公告)号：CN100505359C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200610117068.3
申请日：2006-10-12
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明属于功能材料技术领域，具体为一种可控微孔结构压电功能膜的制备方法。该方法包括可控微孔结构聚合物复合膜的制备和对该复合膜充电两个步骤。将具有高热稳定性的聚合物致密膜和不同熔融温度的聚合物网状膜逐层相间迭全，然后在一定温度和压力下，处理一定时间，即可制得聚合物复合膜；然后采用电晕法、接触法或电子束法对该复合膜充电，得到压电功能膜。本发明方法工艺过程简单，可制得高热稳定性的压电驻极体膜。
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