公开(公告)号：CN109557129A

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201811269170.4

申请日：2018-10-29

Applicant: 同济大学

Inventor： 郑飞虎 ,  潘善照 ,  周川琦 ,  赵欠丽 ,  谢姣 ,  孙文举 ,  黄陈昱 ,  张冶文

IPC: G01N25/18 ,  G01N27/00

Abstract: 本发明涉及一种薄膜热扩散系数的测量方法，包括：1、在待测薄膜与辅助薄膜间设置一层金属电极后将两薄膜相贴合组成待测样品，在待测样品的两侧再分别设置一层金属电极；2、对待测薄膜两侧的金属电极施加直流电场，同时用脉冲激光对位于待测薄膜一侧的金属电极垂直击打；3、采集脉冲激光在待测样品中产生的位移电流；4、将位移电流的时域信号变换到复频域，得到待测样品内电场-频率的关系曲线，选取曲线上分界面处的频率，再结合薄膜厚度计算得到热扩散系数。与现有技术相比，本发明只需要通过热脉冲法得到薄膜样品的位移电流，经过傅里叶变换后找到转折频率点就可以计算得到待测样品的热扩散系数，具有操作简单、计算方便的优点。

公开(公告)号：CN109557129B

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN201811269170.4

申请日：2018-10-29

Applicant: 同济大学

Inventor： 郑飞虎 ,  潘善照 ,  周川琦 ,  赵欠丽 ,  谢姣 ,  孙文举 ,  黄陈昱 ,  张冶文

IPC: G01N25/18 ,  G01N27/00

Abstract: 本发明涉及一种薄膜热扩散系数的测量方法，包括：1、在待测薄膜与辅助薄膜间设置一层金属电极后将两薄膜相贴合组成待测样品，在待测样品的两侧再分别设置一层金属电极；2、对待测薄膜两侧的金属电极施加直流电场，同时用脉冲激光对位于待测薄膜一侧的金属电极垂直击打；3、采集脉冲激光在待测样品中产生的位移电流；4、将位移电流的时域信号变换到复频域，得到待测样品内电场‑频率的关系曲线，选取曲线上分界面处的频率，再结合薄膜厚度计算得到热扩散系数。与现有技术相比，本发明只需要通过热脉冲法得到薄膜样品的位移电流，经过傅里叶变换后找到转折频率点就可以计算得到待测样品的热扩散系数，具有操作简单、计算方便的优点。