公开(公告)号：CN101266309A

公开(公告)日：2008-09-17

申请号：CN200810036677.5

申请日：2008-04-25

Applicant: 同济大学

Inventor： 吴永刚 ,  焦宏飞 ,  彭东功 ,  王振华 ,  曹鸿 ,  付联效

IPC: G02B5/20

Abstract: 本发明一种具有宽的低反射旁通带的单峰窄带反射滤光片，膜系结构为以非对称Fabry－Perot结构为基础的介质－金属复合膜系，所述的膜系结构为Sub|(HL)m1HαL(HL)m2βMP|Air，其中，Sub为光学薄膜基片，Air为空气，H、L分别为1/4波长光学厚度的高、低折射率材料；αL中，L为间隔层或缺陷层，α为厚度系数；M为金属层，β为金属层厚度，P为导纳匹配层，m1、m2为(HL)重复单元的个数，m1＞m2。优点是：以非对称Fabry－Perot结构为基础的介质－金属复合结构，具有反射峰位置连续可调；反射峰位置可精确设计调控；极大展宽低反射旁通带；反射峰半宽度可调；反射峰高度可调等特点，应用于光学仪器、天文、遥感及光通讯等领域。

公开(公告)号：CN1888130A

公开(公告)日：2007-01-03

申请号：CN200610029106.X

申请日：2006-07-19

Applicant: 同济大学

Inventor： 吴永刚 ,  曹鸿 ,  张莉 ,  焦宏飞 ,  付联效

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明提供一种极紫外和软X射线金属滤光薄膜的制备方法，用真空镀膜设备，以硬脂酸钠作为脱膜剂原料，其制备方法为：两个蒸发舟内分别放入硬脂酸钠粉末和欲制备滤光薄膜的原料；真空镀膜设备中放入基片；关闭真空室，抽真空；通过热蒸发蒸镀硬脂酸钠；蒸镀欲制备滤光薄膜的原料；真空室充气，取出镀膜基片；脱膜；制得成品；检验。其优点为：脱膜剂易于制备，便于脱膜，不易潮解，成品无视觉可见针孔，成品率高，真空蒸镀时所需电压不高，工艺难度低，成品对存储环境要求不高，便于保存，成本低。