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公开(公告)号：CN115595542A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211306709.5
申请日：2022-10-25
Applicant: 吉林大学(CN)
Abstract: 本发明公开了一种超硬纳米异构中熵合金薄膜及其制备方法，所述超硬纳米异构CrCoNi合金是由短小的柱状晶和分散在柱状晶周围的等轴晶组成的纳米晶复合材料，这里的异质结构是通过间隔溅射的方式制备而成。这些分散排布的等轴晶改善了以往由磁控溅射制备的中/高熵合金柱状纳米结构的各向异性力学行为。本发明介绍的异质纳米晶合金同时具备高屈服强度和良好的塑性以及优异的热稳定性，且磁控溅射工艺操作简单。
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