公开(公告)号：CN113296189B

公开(公告)日：2022-04-26

申请号：CN202110549167.3

申请日：2021-05-19

Applicant: 吉林大学

Inventor： 王希斌 ,  杨凯迪 ,  林柏竹 ,  孙士杰 ,  谷岳 ,  余启东 ,  张大明

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/136

Abstract: 一种基于定向耦合结构的硅基光波导滤模器及其制备方法，属于集成光电子学技术领域。由硅衬底，二氧化硅上、下包层，位于上、下包层间的两个结构参数相同的硅芯层输入波导Core1和输出波导Core2组成；输入波导Core1和输出波导Core2为少模波导，可以同时传输E11、E21、E31三种模式；输入波导Core1和输出波导Core2均为截面为矩形的直波导结构；通过设计硅芯层输入波导Core1和输出波导Core2的尺寸、两根波导间的波导间距和耦合长度，可以实现特定模式的滤波功能。本发明制备方法简单，不需要复杂昂贵的工艺设备和高难的制备技术，并且与传统的半导体工艺相兼容，易于集成、适于大规模生产，在模分复用传输系统当中起到重要作用，有着十分广阔的应用前景。

公开(公告)号：CN113296189A

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN202110549167.3

申请日：2021-05-19

Applicant: 吉林大学

Inventor： 王希斌 ,  杨凯迪 ,  林柏竹 ,  孙士杰 ,  谷岳 ,  余启东 ,  张大明

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/136

Abstract: 一种基于定向耦合结构的硅基光波导滤模器及其制备方法，属于集成光电子学技术领域。由硅衬底，二氧化硅上、下包层，位于上、下包层间的两个结构参数相同的硅芯层输入波导Core1和输出波导Core2组成；输入波导Core1和输出波导Core2为少模波导，可以同时传输E11、E21、E31三种模式；输入波导Core1和输出波导Core2均为截面为矩形的直波导结构；通过设计硅芯层输入波导Core1和输出波导Core2的尺寸、两根波导间的波导间距和耦合长度，可以实现特定模式的滤波功能。本发明制备方法简单，不需要复杂昂贵的工艺设备和高难的制备技术，并且与传统的半导体工艺相兼容，易于集成、适于大规模生产，在模分复用传输系统当中起到重要作用，有着十分广阔的应用前景。