公开(公告)号：CN118527966A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410815817.8

申请日：2024-06-24

Applicant: 吉林大学

Inventor： 刘学青 ,  田克帅 ,  陈岐岱 ,  孙洪波

IPC: B23P15/00 ,  B23K26/53 ,  B23K26/70 ,  B23K26/60 ,  B23K26/064

Abstract: 本发明公开了一种在铌酸锂表面制备高精度复杂金属图案结构的方法，属于激光微纳加工技术领域，包括：步骤一：待加工样品制备；步骤二：飞秒激光内部改性待加工样品；步骤三：对加工样品进行机械抛光与光致还原；该方法通过将飞秒激光深入到晶体内部进行改性，具体的在聚焦位置处光子将能量传递给电子，电子将一部分能量传递给晶格，进而使晶格发生振动，导致聚焦位置处温度升高，使得晶体材料发生相变。从而改性区域分子原有的周期性排列被破坏，由原来的有序状态转变为无序状态，其内电子也更易被激发。在这种情况下，经机械抛光暴露的改性区域较未辐照区域对金属离子的捕获能力大大提升，从而可实现金属图案的制备。在本发明中，通过控制激光脉冲能量、脉冲数目以及作用路径，可实现各种高精度、复杂的金属图案制备。