公开(公告)号：CN1012016B

公开(公告)日：1991-03-13

申请号：CN89106243.2

申请日：1989-07-29

Applicant: 吉林大学

Inventor： 戴国瑞 ,  陈百华 ,  李桂荣

IPC: G01N27/04

Abstract: 本发明是检测乙醇和二氧化氮双敏薄膜气体传感器。主要应用在汽车电子化、环境污染和气体分析等领域。采用等离子体增强化学气相淀积技术，制备Fe2O3-TiO2-SnO2复合薄膜敏感材料，其元件结构为旁热式，气体最低检出浓度为5ppm以下，它具有灵敏度高、响应快、恢复时间短和易进行大批批量生产等特点。

公开(公告)号：CN1041453A

公开(公告)日：1990-04-18

申请号：CN89106243.2

申请日：1989-07-29

Applicant: 吉林大学

Inventor： 戴国瑞 ,  陈百华 ,  李桂荣

IPC: G01N27/04

Abstract: 本发明是检测乙醇和二氧化氮双敏薄膜气体传感器。主要应用在汽车电子化、环境污染和气体分析等领域。采用等离子体增强化学气相淀积技术，制备Fe2O3TiO2-SnO2复合薄膜敏感材料，其元件结构为旁热式，气体最低检出浓度为5ppm以下。它具有灵敏度高、响应快、恢复时间短和易进行大批量生产等特点。

公开(公告)号：CN2064059U

公开(公告)日：1990-10-17

申请号：CN89213564.6

申请日：1989-07-01

Applicant: 吉林大学

Inventor： 戴国瑞 ,  陈百华 ,  李桂荣 ,  刘义

IPC: G01N27/28

Abstract: 本实用新型是属于二氧化氮(NO2)薄膜气体传感器。它是快速检测NO2气体的一种电子元件。采用PECVD方法制备了SnO2-Fe2O3复合薄膜敏感材料，元件结构为旁热式，气体的最低检出限为5ppm以下。NO2浓度为300ppm时。元件灵敏度为5～50。响应时间小于1秒。恢复时间小于2秒，易进行大批量生产，为气体传感器向小型化、多功能化和集成化发展提供可能性。