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公开(公告)号:CN116314388B
公开(公告)日:2025-03-18
申请号:CN202310155485.0
申请日:2023-02-23
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于稀土金属氧化物Nd2O3的低功耗高性能紫外探测器及其制备方法,属于紫外光电探测技术领域。依次由部分FTO层被刻蚀的带有FTO导电薄膜的玻璃衬底、在衬底表面制备的Ag底电极、采用溶胶‑凝胶法在衬底表面制备的Nd2O3纳米薄膜光敏感层、在FTO层被刻蚀区域上方Nd2O3纳米薄膜光敏感层表面制备的Ag顶电极组成,Ag底电极不与Nd2O3纳米薄膜光敏感层电接触,Ag顶电极‑Nd2O3纳米薄膜光敏感层‑FTO导电薄膜‑Ag底电极构成电回路。本发明制备的器件具有极低的暗电流,同时紫外波段有良好的响应,在无光照待机状态下具有极低的功耗,并且具有较高的紫外光电探测性能,可以用作低功耗高性能紫外探测器。
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公开(公告)号:CN116314388A
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202310155485.0
申请日:2023-02-23
Applicant: 吉林大学
IPC: H01L31/032 , H01L31/09 , H01L31/101 , H01L31/18
Abstract: 一种基于稀土金属氧化物Nd2O3的低功耗高性能紫外探测器及其制备方法,属于紫外光电探测技术领域。依次由部分FTO层被刻蚀的带有FTO导电薄膜的玻璃衬底、在衬底表面制备的Ag底电极、采用溶胶‑凝胶法在衬底表面制备的Nd2O3纳米薄膜光敏感层、在FTO层被刻蚀区域上方Nd2O3纳米薄膜光敏感层表面制备的Ag顶电极组成,Ag底电极不与Nd2O3纳米薄膜光敏感层电接触,Ag顶电极‑Nd2O3纳米薄膜光敏感层‑FTO导电薄膜‑Ag底电极构成电回路。本发明制备的器件具有极低的暗电流,同时紫外波段有良好的响应,在无光照待机状态下具有极低的功耗,并且具有较高的紫外光电探测性能,可以用作低功耗高性能紫外探测器。
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