公开(公告)号：CN1180286C

公开(公告)日：2004-12-15

申请号：CN02144511.7

申请日：2002-10-30

Applicant: 吉林大学

Inventor： 董玮 ,  陈维友 ,  刘彩霞 ,  张歆东 ,  孙东明 ,  贾翠萍 ,  潘建旋 ,  徐宝琨

IPC: G02B6/35 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明涉及一种具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动微机械光开关及其制作方法。光开关由扭臂1、微反射镜2、上电极3、绝缘层4、倾斜下电极5组成。其中，微反射镜的镜面和上电极相垂直，扭臂、微反射镜和上电极为一体结构，在同一硅片上制作；倾斜下电极平面相对于上电极平面向下倾斜一定的角度x°，下电极在(111)硅片上制作，硅片的法线方向为由 方向向最近的 方向偏转一定角度x°具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关在与平面下电极结构的光开关具有相同结构尺寸的情况下，可以使静电驱动电压有明显的下降。本发明所述具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关采用光刻、反应离子刻蚀、湿法化学法腐蚀等常规技术制备。

公开(公告)号：CN1405593A

公开(公告)日：2003-03-26

申请号：CN02144511.7

申请日：2002-10-30

Applicant: 吉林大学

Inventor： 董玮 ,  陈维友 ,  刘彩霞 ,  张歆东 ,  孙东明 ,  贾翠萍 ,  潘建旋 ,  徐宝琨

IPC: G02B6/35 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明涉及一种具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动微机械光开关及其制作方法。光开关由扭臂1、微反射镜2、上电极3、绝缘层4、倾斜下电极5组成。其中，微反射镜的镜面和上电极相垂直，扭臂、微反射镜和上电极为一体结构，在同一硅片上制作；倾斜下电极平面相对于上电极平面向下倾斜一定的角度x，下电极在(111)硅片上制作，硅片的法线方向为由 方向向最近的 方向偏转一定角度x。具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关在与平面下电极结构的光开关具有相同结构尺寸的情况下，可以使静电驱动电压有明显的下降。本发明所述具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关采用光刻、反应离子刻蚀、湿法化学法腐蚀等常规技术制备。