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公开(公告)号：CN109883567B
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201910263765.7
申请日：2019-04-02
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于非对称MZI光波导的温度传感器及其制备方法，属于平面光波导传感器及其制备技术领域。整个器件基于MZI光波导结构，从左到右，依次由输入直波导，3‑dB Y分支分束器，两条平行的参考臂和传感臂，3‑dB Y分支耦合器组成；从上至上，依次由硅片衬底、在硅片衬底上制备的具有凹槽结构的聚合物下包层、在聚合物下包层上制备的具有倒脊型波导结构的光波导芯层、在光波导芯层上制备的聚合物上包层组成；本发明的波导型温度传感器结合了MZI光波导的干涉效应强和有机聚合物材料热光系数大的优势，通过将传统MZI波导温度传感器的传感臂和参考臂的光波导芯层采用热光系数不同的两种有机聚合物材料，达到了对实际外界环境温度检测的目的。
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公开(公告)号：CN107797313B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201711142349.9
申请日：2017-11-17
Applicant: 吉林大学
IPC: G02F1/065
Abstract: 一种基于加载条形结构的有源复合光波导及其制备方法，属于平面光波导器件及其制备技术领域。其一由硅片衬底、二氧化硅下包层、基于极化聚合物电光材料的光波导芯层、基于有机光放大材料的具有MZI波导结构的加载条形波导、聚合物上包层和共面波导CPW调制电极(11)组成；其二由硅片衬底、MSL下电极、具有MZI波导凹槽结构的聚合物下包层、基于有机光放大材料的具有MZI波导结构的加载条形波导、基于极化聚合物电光材料的光波导芯层、聚合物上包层和MSL型上电极(21)组成。本发明所述的加载条形有源复合光波导结构可以实现传统单一波导的多功能集成，并且器件的制作工艺简单，制作成本低，成品率高，制备速度快，适合大批量生产。
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公开(公告)号：CN110082001A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910507792.4
申请日：2019-06-12
Applicant: 吉林大学
IPC: G01K11/32
Abstract: 一种基于加载条形结构的非对称MZI光波导温度传感器及其制备方法，属于平面光波导传感器及其制备技术领域。从左至右，由输入直波导，3-dB Y分支分束器，两条非对称参考臂和传感臂，3-dB Y分支耦合器和输出直波导所构成；从下至上，参考臂和传感臂依次由硅片衬底、双波导凹槽结构的聚合物下包层、参考臂光波导芯层和传感臂光波导芯层、未曝光和曝光后的有机无机杂化材料平板、聚合物上包层组成。本发明可以通过光漂白传感臂表面的含有生色团分子的有机无机杂化材料使其折射率发生改变，进一步加大两干涉臂光传输时光模式场随环境改变的差异，加剧输出光强的改变，具有重要的实际应用价值。
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公开(公告)号：CN109883567A
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201910263765.7
申请日：2019-04-02
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于非对称MZI光波导的温度传感器及其制备方法，属于平面光波导传感器及其制备技术领域。整个器件基于MZI光波导结构，从左到右，依次由输入直波导，3-dB Y分支分束器，两条平行的参考臂和传感臂，3-dB Y分支耦合器组成；从上至上，依次由硅片衬底、在硅片衬底上制备的具有凹槽结构的聚合物下包层、在聚合物下包层上制备的具有倒脊型波导结构的光波导芯层、在光波导芯层上制备的聚合物上包层组成；本发明的波导型温度传感器结合了MZI光波导的干涉效应强和有机聚合物材料热光系数大的优势，通过将传统MZI波导温度传感器的传感臂和参考臂的光波导芯层采用热光系数不同的两种有机聚合物材料，达到了对实际外界环境温度检测的目的。
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公开(公告)号：CN107797313A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201711142349.9
申请日：2017-11-17
Applicant: 吉林大学
IPC: G02F1/065
Abstract: 一种基于加载条形结构的有源复合光波导及其制备方法，属于平面光波导器件及其制备技术领域。其一由硅片衬底、二氧化硅下包层、基于极化聚合物电光材料的光波导芯层、基于有机光放大材料的具有MZI波导结构的加载条形波导、聚合物上包层和共面波导CPW调制电极(11)组成；其二由硅片衬底、MSL下电极、具有MZI波导凹槽结构的聚合物下包层、基于有机光放大材料的具有MZI波导结构的加载条形波导、基于极化聚合物电光材料的光波导芯层、聚合物上包层和MSL型上电极(21)组成。本发明所述的加载条形有源复合光波导结构可以实现传统单一波导的多功能集成，并且器件的制作工艺简单，制作成本低，成品率高，制备速度快，适合大批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109491108B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201910000513.5
申请日：2019-01-02
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于石墨烯加热电极的加载条形波导热光开关及其制备方法，属于有机聚合物平面光波导器件及其制备技术领域。整个器件为MZI光波导结构，从左到右，由输入直波导，3‑dB Y分支分束器，两条平行的第一干涉臂和第二干涉臂组成的器件调制区，3‑dB Y分支耦合器和输出直波导所构成；从下至上，MZI光波导结构器件调制区依次由硅片衬底、二氧化硅下包层、光波导芯层、石墨烯加热电极、加载条形波导、聚合物上包层和金属加热电极组成。本发明器件能够使电极产生的热场与波导中传输的光场充分重叠，可以有效地提高电极的加热效率，达到了降低热光开关器件功耗的目的。
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公开(公告)号：CN109491108A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201910000513.5
申请日：2019-01-02
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于石墨烯加热电极的加载条形波导热光开关及其制备方法，属于有机聚合物平面光波导器件及其制备技术领域。整个器件为MZI光波导结构，从左到右，由输入直波导，3-dB Y分支分束器，两条平行的第一干涉臂和第二干涉臂组成的器件调制区，3-dB Y分支耦合器和输出直波导所构成；从下至上，MZI光波导结构器件调制区依次由硅片衬底、二氧化硅下包层、光波导芯层、石墨烯加热电极、加载条形波导、聚合物上包层和金属加热电极组成。本发明器件能够使电极产生的热场与波导中传输的光场充分重叠，可以有效地提高电极的加热效率，达到了降低热光开关器件功耗的目的。
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公开(公告)号：CN106444095B
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201610952871.2
申请日：2016-11-03
Applicant: 吉林大学
IPC: G02F1/065
Abstract: 一种具有损耗补偿功能的有机聚合物高速电光调制器及其制备方法，属于聚合物平面光波导器件及其制备技术领域。是在硅衬底上通过旋涂、光刻、刻蚀等半导体工艺在聚合物下包层上制备出波导凹槽，然后通过旋涂工艺在波导凹槽上涂覆一层有机光放大材料，接下来通过光刻和湿法刻蚀工艺在中间的电光调制区再一次制备出波导凹槽，再将极化聚合物电光材料涂覆在凹槽中作为电光调制区的波导芯层，最后涂覆上包层并对波导进行电场极化，进而制备出对光信号具有损耗补偿功能的高速电光调制器件。本发明所述电光调制器可以同时实现对信号的放大功能，实现传统单一波导器件的多功能化，并且制作方法简单，器件成本低，成品率高，制备速度快，适合大批量生产。
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公开(公告)号：CN110147000A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910606123.2
申请日：2019-07-05
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于掩埋型石墨烯电极的有机聚合物光波导吸收型光调制器，属于基于石墨烯的平面光波导吸收型光调制器技术领域。由衬底层、有机聚合物波导下包层、第一有机聚合物波导芯层、第一石墨烯层、电介质绝缘层、第二石墨烯层、第二有机聚合物波导芯层、有机聚合物波导上包层、左电极和右电极组成。本发明采用有机聚合物材料进行波导结构的设计，并将石墨烯层转移到波导芯层的中间，使石墨烯能够与光的相互作用增强，以实现更快速的载流子迁移速率，提高光调制器的工作速率，可以在使用无电光效应的有机聚合物材料时，通过偏执电压对石墨烯化学势的调控，也能实现电光调制器的功能，从而达到降低器件成本的目的。
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公开(公告)号：CN106444095A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610952871.2
申请日：2016-11-03
Applicant: 吉林大学
IPC: G02F1/065
CPC classification number: G02F1/065
Abstract: 一种具有损耗补偿功能的有机聚合物高速电光调制器及其制备方法，属于聚合物平面光波导器件及其制备技术领域。是在硅衬底上通过旋涂、光刻、刻蚀等半导体工艺在聚合物下包层上制备出波导凹槽，然后通过旋涂工艺在波导凹槽上涂覆一层有机光放大材料，接下来通过光刻和湿法刻蚀工艺在中间的电光调制区再一次制备出波导凹槽，再将极化聚合物电光材料涂覆在凹槽中作为电光调制区的波导芯层，最后涂覆上包层并对波导进行电场极化，进而制备出对光信号具有损耗补偿功能的高速电光调制器件。本发明所述电光调制器可以同时实现对信号的放大功能，实现传统单一波导器件的多功能化，并且制作方法简单，器件成本低，成品率高，制备速度快，适合大批量生产。
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