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公开(公告)号：CN119747845A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202510107361.4
申请日：2025-01-23
Applicant: 吉林大学
IPC: B23K26/00 , B23K26/064 , B23K26/082
Abstract: 本发明公开了基于飞秒激光多路焦点复用在红外窗口表面制备高性能增透结构的方法，属于激光加工技术领域，包括：样品的固定和除尘系统的搭建；样品台的调平；多路焦点复用结合湿法腐蚀制备高深径比高透过率亚波长结构；该方法是通过扫描振镜结合高精度三维位移平台的方式，利用飞秒激光在同一水平位置进行多次划线加工，即第一次划线加工时激光焦点聚焦在样品上表面，形成初步的小周期亚波长增透结构；然后，使激光焦点负离焦，同时改变激光光束偏振方向，增加激光功率和扫描速度进行第二次划线加工，解决了已有研究中存在表面形貌粗糙、结构深宽比低、整体形貌一致性差等问题，且证明了制备增透效果更高的增透结构时，取巧的加工手段并不可取，必须要采用激光直接加工的方法。
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