公开(公告)号：CN113042896B

公开(公告)日：2022-02-08

申请号：CN202110300280.8

申请日：2021-03-22

Applicant: 吉林大学

Inventor： 孙洪波 ,  卢轶明 ,  刘学青 ,  陈岐岱

IPC: G02B26/10 ,  B23K26/36 ,  B23K26/402 ,  B23K26/082 ,  B23K26/064

Abstract: 本发明公开了一种基于硬脆材料表面的高效的三维可设计结构的制备方法，属于激光微纳加工技术领域，本发明的方法先通过激光对晶体材料预去除体积的轮廓进行改性扫描，在后续的腐蚀过程中，预去除的体积会随之脱落，留下的部分即为设计的结构。由于本发明使用的激光功率近似于阈值功率，大大的减小了激光加工时对材料的破坏程度，减小了制备完器件的粗糙度。本发明采用的飞秒激光壳层扫描策略，不同于传统的飞秒激光体扫描，该策略将扫描时间减低了一百倍，增加了加工效率。该方法明显降低了激光扫描时应力的积累，减小了裂纹产生的概率。扫描后的样品经过简单的湿法刻蚀，壳层内部的区域会从样品上脱落，得到表面光滑、三维可设计的微光学元件。

公开(公告)号：CN113042896A

公开(公告)日：2021-06-29

申请号：CN202110300280.8

申请日：2021-03-22

Applicant: 吉林大学

Inventor： 孙洪波 ,  卢轶明 ,  刘学青 ,  陈岐岱

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/402 ,  B23K26/082 ,  B23K26/064 ,  G02B26/10

Abstract: 本发明公开了一种基于硬脆材料表面的高效的三维可设计结构的制备方法，属于激光微纳加工技术领域，本发明的方法先通过激光对晶体材料预去除体积的轮廓进行改性扫描，在后续的腐蚀过程中，预去除的体积会随之脱落，留下的部分即为设计的结构。由于本发明使用的激光功率近似于阈值功率，大大的减小了激光加工时对材料的破坏程度，减小了制备完器件的粗糙度。本发明采用的飞秒激光壳层扫描策略，不同于传统的飞秒激光体扫描，该策略将扫描时间减低了一百倍，增加了加工效率。该方法明显降低了激光扫描时应力的积累，减小了裂纹产生的概率。扫描后的样品经过简单的湿法刻蚀，壳层内部的区域会从样品上脱落，得到表面光滑、三维可设计的微光学元件。