公开(公告)号：CN107462584B

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201710670116.X

申请日：2017-08-08

Applicant: 吉林大学

Inventor： 李春生 ,  初威澄 ,  田地 ,  陶琛

IPC: G01N21/95

Abstract: 本发明涉及一种多自由度调节装置、数字微镜坏点检测装置及方法。本发明在对待测器件进行检测时，可以首先通过x轴方向自由度调节机构、y轴方向自由度调节机构和z轴方向自由度调节机构对待测器件进行微调，寻找待测器件所要检测的区域所成的图像并调正，微调效率高，调正误差小。通过数字微镜坏点检测装置的调整臂的俯仰和滑杆的转动，可以调整光源的高度和出光角度，从而调整照射数字微镜的光入射高度和入射角度，以达到最佳照射效果；利用数字图像处理方法进行数字微镜的坏点检测，与人眼观察的方式相比，检测速度快，检测精度高。

公开(公告)号：CN107462584A

公开(公告)日：2017-12-12

申请号：CN201710670116.X

申请日：2017-08-08

Applicant: 吉林大学

Inventor： 李春生 ,  初威澄 ,  田地 ,  陶琛

IPC: G01N21/95

Abstract: 本发明涉及一种多自由度调节装置、数字微镜坏点检测装置及方法。本发明在对待测器件进行检测时，可以首先通过x轴方向自由度调节机构、y轴方向自由度调节机构和z轴方向自由度调节机构对待测器件进行微调，寻找待测器件所要检测的区域所成的图像并调正，微调效率高，调正误差小。通过数字微镜坏点检测装置的调整臂的俯仰和滑杆的转动，可以调整光源的高度和出光角度，从而调整照射数字微镜的光入射高度和入射角度，以达到最佳照射效果；利用数字图像处理方法进行数字微镜的坏点检测，与人眼观察的方式相比，检测速度快，检测精度高。