公开(公告)号：CN119023619A

公开(公告)日：2024-11-26

申请号：CN202411231034.1

申请日：2024-09-04

Applicant: 吉林农业大学

Inventor： 顾洪军 ,  李佳林 ,  侯丽新 ,  杨悦 ,  郑国庆 ,  周婧 ,  何仪轩 ,  赵奕飞 ,  苏明伟

IPC: G01N21/41 ,  G01N21/01

Abstract: 本发明公开了基于SOI的狭缝波导的栅环谐振腔折射率传感器，包括衬底、下包层和芯层，所述下包层的下表面固定连接有衬底，下包层的上表面设置有芯层；本发明将光栅和微环谐振腔相结合，将微环谐振腔的环形波导设计为光栅形式，解决光栅器件狭长及微环谐振腔测量范围小的难题，并且光栅形式的环形波导在当测量液体时可以增强被测物的在水平面的流通性，使被测物与波导充分接触，确保器件较高的测量灵敏度，也便于器件测量后的清洗，解决现有狭缝波导由于狭缝过窄，液体不能充分填充狭缝而导致器件灵敏度降低的弊端，本发明具有灵敏度高、测量范围宽、测量极限小、器件结构紧凑、所需被测量少、易于集成的优点，适合测量浓度变化较大的液体。