供冷状态下电加热装置热平衡计算方法、调节方法及系统

    公开(公告)号:CN118760284B

    公开(公告)日:2025-02-11

    申请号:CN202411224609.7

    申请日:2024-09-03

    Abstract: 本发明属于芯片加工用温度控制技术领域,具体涉及一种供冷状态下电加热装置热平衡计算方法、调节方法及系统。本发明的供冷状态下电加热装置热平衡计算方法,首先基于高温敏感性芯片的加工特点,实现了供冷状态下的电加热装置以及表冷器变频器的输出百分比的计算功能,计算实时性高,且计算结果高效而准确;通过电加热装置和表冷器变频器的协同控制,能够为高温敏感性芯片的高精密降温控制策略的研究提供基础保障;随后,本发明还提供了相应的系统及调节方法,从而具体化的实现高精密降温控制目的。

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