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公开(公告)号：CN101150910B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200710085457.7
申请日：2007-03-05
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC classification number: H01J37/32568 , H01J37/32091 , H01J37/321
Abstract: 本发明提供具有可调式电导体的装置及调整可调式电导体的方法，该装置包括用于半导体制程中的一压力反应室的一种可调式上电极或上线圈，该可调式上电极或上线圈的形状可选择性地被改变，而可调式上电极或上线圈包括两部分，这些部分可选择地由不同的功率或频率所驱动，因此，可调式上电极及上线圈可使压力反应室中的等离子体密度分布可选择地被控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101162685A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：CN200710106753.0
申请日：2007-06-15
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/00 , H01L21/02 , H01L21/3065 , H01L21/67 , H01L21/687 , H01J37/32 , H05H1/00 , C23F4/00
CPC classification number: H01L21/68764 , H01J37/321 , H01J37/32568 , H01L21/67069
Abstract: 本发明是关于一种半导体制程的装置，包含有一制程室的一种装置，其中此种制程室具有一等离子容纳区、固定于制程室顶部之上的一介电板、藉由介电板与等离子容纳区相分隔的一电源，以及被支撑于制程室中的一夹盘，其中此种夹盘被设定用以可操作性地移动电源。
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公开(公告)号：CN102438391B
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201110306800.2
申请日：2007-03-05
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC classification number: H01J37/32568 , H01J37/32091 , H01J37/321
Abstract: 本发明提供具有可调式电导体的装置及调整可调式电导体的方法，该装置包括用于半导体制程中的一压力反应室的一种可调式上电极或上线圈，该可调式上电极或上线圈的形状可选择性地被改变，而可调式上电极或上线圈包括两部分，这些部分可选择地由不同的功率或频率所驱动，因此，可调式上电极及上线圈可使压力反应室中的等离子体密度分布可选择地被控制。
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公开(公告)号：CN101162685B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200710106753.0
申请日：2007-06-15
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/00 , H01L21/02 , H01L21/3065 , H01L21/67 , H01L21/687 , H01J37/32 , H05H1/00 , C23F4/00
CPC classification number: H01L21/68764 , H01J37/321 , H01J37/32568 , H01L21/67069
Abstract: 本发明是关于一种等离子体工艺的装置，用于一半导体工艺，包含有一工艺室的一种装置，其中此种工艺室具有一等离子容纳区、固定于工艺室顶部之上的一介电板、藉由介电板与等离子容纳区相分隔的一电源，以及被支撑于工艺室中的一夹盘，其中此种夹盘被设定用以可操作性地移动电源。
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公开(公告)号：CN102438391A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110306800.2
申请日：2007-03-05
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC classification number: H01J37/32568 , H01J37/32091 , H01J37/321
Abstract: 本发明提供具有可调式电导体的装置及调整可调式电导体的方法，该装置包括用于半导体制程中的一压力反应室的一种可调式上电极或上线圈，该可调式上电极或上线圈的形状可选择性地被改变，而可调式上电极或上线圈包括两部分，这些部分可选择地由不同的功率或频率所驱动，因此，可调式上电极及上线圈可使压力反应室中的等离子体密度分布可选择地被控制。
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公开(公告)号：CN101150910A
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200710085457.7
申请日：2007-03-05
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC classification number: H01J37/32568 , H01J37/32091 , H01J37/321
Abstract: 本发明提供具有可调式电导体的装置及调整可调式电导体的方法，该装置包括用于半导体制程中的一压力反应室的一种可调式上电极或上线圈，该可调式上电极或上线圈的形状可选择性地被改变，而可调式上电极或上线圈包括两部分，这些部分可选择地由不同的功率或频率所驱动；因此，可调式上电极及上线圈可使压力反应室中的等离子体密度分布可选择地被控制。
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