公开(公告)号：CN108231874B

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN201710718685.7

申请日：2017-08-21

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 魏嘉余 ,  张復诚 ,  陈信吉 ,  高境鸿 ,  郑枷彬 ,  李国政 ,  黄薰瑩 ,  林彦良

IPC: H01L29/423

Abstract: 一种栅极结构，包含栅极以及具有顶表面和底表面的第一隔离结构。栅极包含邻近第一隔离结构的第一侧壁、第二侧壁、邻近第一侧壁的底部边缘和第二侧壁的底部边缘的第一水平面。第一水平面位于第一隔离结构的顶表面与第一隔离结构的底表面之间。栅极亦包含邻近第二侧壁的顶部边缘的第二水平面。由栅极结构界定出的有效通道宽度包含第二侧壁的高度和第二水平面的宽度。

公开(公告)号：CN108231874A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201710718685.7

申请日：2017-08-21

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 魏嘉余 ,  张復诚 ,  陈信吉 ,  高境鸿 ,  郑枷彬 ,  李国政 ,  黄薰瑩 ,  林彦良

IPC: H01L29/423

Abstract: 一种栅极结构，包含栅极以及具有顶表面和底表面的第一隔离结构。栅极包含邻近第一隔离结构的第一侧壁、第二侧壁、邻近第一侧壁的底部边缘和第二侧壁的底部边缘的第一水平面。第一水平面位于第一隔离结构的顶表面与第一隔离结构的底表面之间。栅极亦包含邻近第二侧壁的顶部边缘的第二水平面。由栅极结构界定出的有效通道宽度包含第二侧壁的高度和第二水平面的宽度。