银合金、其溅射靶材料及其薄膜

    公开(公告)号:CN100443609C

    公开(公告)日:2008-12-17

    申请号:CN200480027718.4

    申请日:2004-07-23

    Inventor: 渡边笃

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使经过为彩色液晶显示器制造工序的加热工序也能够形成兼具如下2个特性的反射电极膜的Ag-Pd-Cu-Ge系银合金,所述2个特性为因热劣化导致的反射率的降低极少,而且因硫化导致的黄色化难以产生。本发明所述的银合金,其特征在于,具有含有至少4种元素的组成,其中,Ag作为主成分,Pd含量为0.10~2.89wt%、Cu含量为0.10~2.89wt%、Ge含量为0.01~1.50wt%,而且Pd、Cu和Ge的合计含量为0.21~3.00wt%。

    银合金、其溅射靶材料及其薄膜

    公开(公告)号:CN1856587A

    公开(公告)日:2006-11-01

    申请号:CN200480027718.4

    申请日:2004-07-23

    Inventor: 渡边笃

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使经过为彩色液晶显示器制造工序的加热工序也能够形成兼具如下2个特性的反射电极膜的Ag-Pd-Cu-Ge系银合金,所述2个特性为因热劣化导致的反射率的降低极少,而且因硫化导致的黄色化难以产生。本发明所述的银合金,其特征在于,具有含有至少4种元素的组成,其中,Ag作为主成分,Pd含量为0.10~2.89wt%、Cu含量为0.10~2.89wt%、Ge含量为0.01~1.50wt%,而且Pd、Cu和Ge的合计含量为0.21~3.00wt%。

Patent Agency Ranking